【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造エ艺，且特别涉及。
技术介绍
金属可编程熔丝(Metal Fuse)技术利用金属电迁移现象发展起来的ー种技木，它能和CMOSエ艺技术兼容，面积小。主要用做执行冗余、现场修复芯片、对芯片重新编程，使电子产品变得更加智能化。參考图I，在常见的电子可编程熔丝器件版图中，电极2和电极3之间由金属熔丝I相连接。当在两电极之间加以较高电流时，在较高的电流密度的作用下，相关原子将会沿 着电子运动方向进行迁移，形成空洞，最終断路，这种现象就是电迁移(EM)现象。由于金属熔丝在熔断之前和熔断之后的电阻会发生变化，通常熔断之后的电阻为熔断之前的电阻的10(Γ100000倍，金属可编程熔丝器件正是利用金属熔丝的电迁移现象所引起的电阻变化，从而实现可编程的目的。金属可编程熔丝器件的电迁移现象与金属熔丝中的电流密度分布紧密相关，当金属熔丝中的电流密度分布不均匀(即存在电流密度梯度)的时候，相关原子在两个电极方向上受电子风カ状况不同，从而更容易发生电迁移现象，使得金属熔丝更容易熔断。
技术实现思路
本专利技术提供了ー种，增强金属可编程熔丝器件的熔断性能。为了实现上述技术目的，本专利技术提出ー种，包括将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域；在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属；对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影。可选的，在对所属金属可编程熔丝区域进行光刻时，所述附加空置下层金属对光线形成干渉，使得金属可编程熔丝区域的典型尺寸发生变化。可选的，所述附加空置下层金属采用铜或铝。可选的，所述附加空置下层金属以垂直于...
【技术保护点】
一种金属可编程熔丝器件制作方法，其特征在于，包括：将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域；在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属；对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影。
【技术特征摘要】
1.ー种金属可编程熔丝器件制作方法，其特征在于，包括 将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域； 在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属； 对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影。2.如权利要求I所述的电子可编程熔丝器件制作方法，其特征在于，在对所属金属可编程熔丝区域进行光刻吋，所述附加空置下层金属对光线...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞柳江，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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