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一种金属可编程熔丝器件制作方法，包括：将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域；在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属；对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影。本发明在金属可编程熔丝区域下方设...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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