石英坩埚自动清洗装置制造方法及图纸

石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。本实用新型专利技术的有益效果是：1)由传统的人工清洗改为自动清洗，对坩埚内外表面进行全方位、不留死角冲淋洗净，提高清洗效率和质量；2)每只坩埚均能保证在一致的冲淋压力、坩埚旋转速度、冲淋时间和冲淋喷嘴的条件下完成。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种石英坩埚自动清洗装置，属于拉制单晶用石英坩埚的制造领域。
技术介绍
石英玻璃坩埚是拉制太阳能、半导体单晶硅棒的重要辅件。在石英坩埚的制作过程中，一般采用电弧高温熔融法生产。即在旋转的石墨模具腔体内倒入高纯石英砂，采用刮砂成型治具成型，使石英砂均布在石墨模具腔体内形成石英坩埚坯体。然后将石墨电极伸入腔体内，通上大电流使石墨电极放出高温电弧对坯体进行熔融，一定熔融时间后坯体形成石英坩埚。该石英坩埚在后道的生产中还需对内外表面进行多次的冲淋清洗，目前采用人工进行清洗先把坩埚口子朝下放在一个圆形的无动力转盘上，左手拨动坩埚，右手拿花洒对坩埚外表面进行冲淋洗净，外表面冲淋洗净数分钟后，翻转坩埚再冲淋内表面。该种洗 净方式务必会有人为的主观控制，每个人手拿花洒手势、花洒离坩埚表面距离、手转动坩埚速度、冲淋时间等无法一致，造成坩埚清洗质量得不到保证。
技术实现思路
本技术针对目前坩埚生产过程中采用人工进行清洗导致费时费力、清洁质量参差不齐的问题，提出了一种省时省力、清洗全面、清洁质量高的石英坩埚自动清洗装置。本技术所述的石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，其特征在于所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。进一步，所述的外喷嘴包括第一外喷嘴和第二外喷嘴，所述的第一外喷嘴进行上下往复运动；所述的第二外喷嘴沿设定的倾斜方向往复运动。进一步，所述的内喷嘴为半圆内喷嘴，并在气缸或电机驱动下进行上下往复运动。进一步，所述的第一外喷嘴和第二外喷嘴共用一套增压泵，所述的内喷嘴独立使用一套增压泵。进一步，所述的内喷嘴和所述的外喷嘴前端安装水压传感器，水压、流量低于设定值时自动报警提醒。进一步，所述的旋转台厚度为20 40mm。进一步，旋转台上面加装四根搁埚档条，所述的搁埚挡条上镶嵌高耐磨材料。进一步，所述的增压泵为316L不锈钢材质增压泵。进一步,所述的旋转台采用耐酸材料。使用时，先将坩埚倒置于旋转台上，开启电机带动旋转台开始旋转，外喷嘴往复运动将坩埚外表面清洗干净，内喷嘴的上下往复运动将坩埚内表面清洗干净；当水压、流量低于设定值时自动报警提醒，调整增压泵设定的参数。本技术的有益效果是1)由传统的人工清洗改为自动清洗，对坩埚内外表面进行全方位、不留死角冲淋洗净，提高清洗效率和质量；2)每只坩埚均能保证在一致的冲淋压力、坩埚旋转速度、冲淋时间和冲淋喷嘴的条件下完成。附图说明图I是本技术的整体结构图具体实施方式以下结合附图进一步说明本技术参照附图 本技术所述的石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台I、冲淋装置，所述的旋转台I通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴2、内喷嘴3，所述的外喷嘴2、内喷嘴3通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴2和所述的内喷嘴I设置增压泵。进一步，所述的外喷嘴2包括第一外喷嘴21和第二外喷嘴22，所述的第一外喷嘴21进行上下往复运动；所述的第二外喷嘴22沿设定的倾斜方向往复运动。进一步，所述的内喷嘴3为半圆内喷嘴，并在气缸或电机驱动下进行上下往复运动。进一步，所述的第一外喷嘴21和第二外喷嘴22共用一套增压泵，所述的内喷嘴3独立使用一套增压泵。进一步，所述的内喷嘴3和所述的外喷嘴2前端安装水压传感器，水压、流量低于设定值时自动报警提醒。进一步，所述的旋转台I厚度为20 40mm。进一步，旋转台I上面加装四根搁埚档条11，所述的搁埚挡条11上镶嵌高耐磨材料。进一步，所述的增压泵为316L不锈钢材质增压泵。进一步,所述的旋转台I采用耐酸材料。使用时，先将坩埚4倒置于旋转台I上，开启电机带动旋转台I开始旋转，外喷嘴2往复运动将坩埚4外表面清洗干净，内喷嘴3的上下往复运动将坩埚4内表面清洗干净；当水压、流量低于设定值时自动报警提醒，调整增压泵设定的参数。本说明书实施例所述的内容仅仅是对技术构思的实现形式的列举，本技术的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本技术的保护范围也及于本领域技术人员根据本技术构思所能够想到的等同技术手段。本文档来自技高网...

【技术保护点】
石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，其特征在于：所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。

【技术特征摘要】
1.石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，其特征在于所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。2.如权利要求I所述的石英坩埚自动清洗装置，其特征在于所述的外喷嘴包括第一外喷嘴和第二外喷嘴，所述的第一外喷嘴进行上下往复运动；所述的第二外喷嘴沿设定的倾斜方向往复运动。3.如权利要求2所述的石英坩埚自动清洗装置，其特征在于所述的内喷嘴为半圆内喷嘴，并在气缸或电机驱动下进行上下往复运动。4.如权利要求2所述的石英坩埚自动清洗装置，其特征在于所述的第一外喷嘴和...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂永文，
申请(专利权)人：杭州先进石英材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：