【技术实现步骤摘要】
本技术涉及属于拉制单晶硅棒用石英坩埚的制造领域，特别是一种专门设计的石英坩埚内表面喷涂装置，可自动完成14” 28”的单晶石英坩埚内表面喷涂。
技术介绍
石英玻璃坩埚是拉制太阳能、半导体单晶硅棒的重要辅件。在石英坩埚的制作过程中，一般采用电弧高温熔融法生产。即在旋转的石墨模具腔体内倒入高纯石英砂，采用刮砂成型治具成型，使石英砂均布在石墨模具腔体内形成石英坩埚坯体；然后将石墨电极伸入腔体内，通上大电流使石墨电极短路燃烧释放出高温电弧对坯体进行熔融，一定熔融时间后坯体形成石英坩埚。该石英坩埚在后续生产中还需对内外表面清洗干净，且烘干 后的坩埚进行内表面喷涂某种溶液，目前采用人工进行喷涂喷涂前需把坩埚整体加热到300°C左右，坩埚口子朝上放置，操作人员戴上防高温手套，手拿喷枪进行内表面的喷涂作业，喷涂持续一分钟。该种喷涂方式务必会有人为的主观控制，每个人手拿喷枪手势、喷枪嘴离坩埚内表面距离和角度、准确的喷涂时间、喷涂的均匀性等无法一致，造成坩埚喷涂质量得不到保证，同时作业人员长期的近距离高温作业对作业人员也是不好的。
技术实现思路
为了克服现有手动喷涂坩埚内表面的不足，本技术提供了一种石英坩埚内表面喷涂装置。本技术采用的技术方案是石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪机构，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪机构包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。进一步，所述支撑平台上安装有支撑挡圈，所述支撑挡圈与待喷...
【技术保护点】
石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于：包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪机构包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。
【技术特征摘要】
1.石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪机构包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。2.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂永文，周勇，吴洪联，吴伟华，
申请(专利权)人：杭州先进石英材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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