下载石英坩埚内表面喷涂装置的技术资料

文档序号:8336143

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本实用新型公开了一种石英坩埚内表面喷涂装置,包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪,所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转,所述喷枪包括喷嘴和连接杆,所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上,另一端螺纹连接所述喷嘴,所述...
该专利属于杭州先进石英材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州先进石英材料有限公司授权不得商用。

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