石英坩埚气泡膨胀评价装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚气泡膨胀评价装置，包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统，所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔，所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔，顶端和前端下侧均设有出水孔；所述真空钢包底部设有进气孔，顶部设有出气孔，前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰，后端与所述配气装置连接；所述加热炉炉体内设有加热元件，炉体上端设有温度计；所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。本实用新型专利技术方便快捷，能模拟单晶拉制环境，观察石英坩埚透明层气泡膨胀状态；为石英坩埚的质量控制及技术改良提供有效的参考依据。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英产品制造领域，尤其适用于一种石英坩埚气泡膨胀评价装置。技术背景 石英玻璃坩埚是硅单晶拉制必不可少的辅件，在单晶生长过程中，高温熔融硅液与石英坩埚内表面接触并发生化学反应，产生的SiO气体会进入到硅液中。若反应过于剧烈，会影响石英坩埚的使用寿命。反应产生的大量气体，可能会在炉内冷凝后再次掉入硅液内，作为杂质导致单晶位错不良，影响成晶率；而且SiO气体大量溶入硅液后会导致单晶硅棒中氧的含量偏高，影响硅片成品率。为抵御这些不良影响，一般会在石英坩埚内表面施加I 3_厚的透明层，以减缓熔融硅液对石英坩埚的侵蚀。但透明层中也含有微气泡，在单晶炉低压高温环境下会膨胀变大，若与熔融硅液接触并破裂，会导致气泡中气体进入到熔融硅液中，而且会加快熔融硅液对石英坩埚的侵蚀速率。因此透明层的气泡膨胀性能对石英坩埚性能有非常重要的影响。但是，石英坩埚的气泡膨胀性能一般要在其使用过之后通过残片观察才能发现，不利于及时发现和控制。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的不能及时发现和控制石英坩埚的气泡膨胀状况的问题，本技术提供一种石英坩埚气泡膨胀评价装置。本技术采用的技术方案是石英坩埚气泡膨胀评价本文档来自技高网...

【技术保护点】
石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统，所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔，所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔，顶端和前端下侧均设有出水孔；所述真空钢包底部设有进气孔，顶部设有出气孔，前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰，后端与所述配气装置连接；所述加热炉炉体内设有加热元件，炉体上端设有温度计；所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。

【技术特征摘要】
1.石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统，所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔，所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔，顶端和前端下侧均设有出水孔；所述真空钢包底部设有进气孔，顶部设有出气孔，前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰，后端与所述配气装置连接；所述加热炉炉体内设有加热元件，炉体上端设有温度计；所述电气控制系统分别与所述温度计和配气...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘百明，吴伟华，袁江，李常国，周勇，
申请(专利权)人：杭州先进石英材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：