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石英坩埚自动清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:8116918
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石英坩埚自动清洗装置,包括旋转台、冲淋装置,所述的旋转台通过电机驱动旋转,所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴,所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动;所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。本实用新型的有益效果是:1)由传统的人工清...
该专利属于杭州先进石英材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州先进石英材料有限公司授权不得商用。
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