【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术关于，进ー步详言的，关于ー种曝光装置的制造方法，其使用于制造微组件(电子组件)的微影制程中来制造曝光感应物体的曝光装置，以及使用以该曝光装置的制造方法的曝光装置的组件制造方法。此处，曝光装置的制造，除了在制造商工场内的制造(含组装)及目的地的用户エ场内的制造(运转时的组装)的外，亦包含装置移设时的组装。本说明书中，在上述意思下使用“曝光装置的制造”的用语。
技术介绍
一直以来，在制造半导体组件或液晶显示组件等微组件(电子组件)的微影制程中，使用包含步进机及扫描步进机等投影曝光装置的各种曝光装置。 先前的步进机等曝光装置，在定位标线片的标线片载台系统及2维移动晶圆的晶圆载台系统，分别采用可进行高精度定位或高精度扫描的构成。此种曝光装置，将投影光学系统安装于机架装置(机体)并进一歩将各载台系统依序直接安装于机架装置。然而，此种将各载台系统等依序安装于机架装置的方法，却有在组装调整时需要时间、且各载台系统与投影光学系统间的相对位置调整等亦须要长时间等的不便。作为改善此种不便的方法，先前提出了一种收纳保持第I物体(标线片)移动的第I载台系统且以可装拆的方式安装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.02.12 US 61/303,746;2011.02.08 US 13/022,9221.一种曝光装置的制造方法，以制造该曝光装置，该曝光装置具备包含机体、与对接于该机体的第I模块的多个模块，用以使感应物体曝光，该方法包含 为了使与运送的该机体实质上为相同构件的机体工具与该第I模块对接时两者的位置关系成为所欲关系，而调整设在该机体工具与该第I模块之间的第I定位装置的动作； 对通过该调整后该第I定位装置与该机体工具对接时的位置关系成为该所欲关系的该第I模块加以运送的动作；以及 在运送目的地，通过与该第I定位装置具有相同构成的第2定位装置将该机体与该第I模块彼此加以对接的动作，其中该第2定位装置是与该调整后的该第I定位装置为相同状态且设在该机体与该第I模块之间。2.如权利要求I的曝光装置的制造方法，其中，作为该机体工具，使用运送的该机体。3.如权利要求I或2的曝光装置的制造方法，其中，在该第I定位装置的调整中，调整该第I定位装置以使该机体工具的第I基准面与该第I模块的第2基准面间的位置关系成为所欲关系。4.如权利要求3的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包括测量该第I基准面与该第2基准面间的倾斜，以及调整该第I定位装置以使该第I模块的倾斜受到调難iF. O5.如权利要求3或4的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包括测量该第I基准面与该第2基准面间的旋转偏差，以及调整该第I定位装置以使该第I模块的旋转受到调整。6.如权利要求3至5中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包括测量该第I基准面与该第2基准面间的位置偏差，以及调整该第I定位装置以使该第I模块的位置受到调整。7.如权利要求I至6中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包含将设在该机体工具与该第I模块中一方的形成有凹部的第I构件、与设在该机体工具与该第I模块中另一方的形成有凸部的第2构件，藉由该凹部与该凸部间的卡合彼此加以卡合，以及相对于该机体工具调整该第I构件与该第2构件中设在该机体工具之一的位置的动作，该第I构件与该第2构件构成该第I定位装置。8.如权利要求7的曝光装置的制造方法，其中，该对接包含将设在该机体与该第I模块中一方的该第I构件、与设在该机体与该第I模块中另一方的该第2构件中的一个构件与该第一构件和该第二构件的另一方构件彼此卡合的动作，该第I构件与该第2构件构成该第2定位装置，该一个构件是设于该机体而与该调整后的该第I定位装置处于相同状态的构件。9.如权利要求7或8的曝光装置的制造方法，其中，该凹部为V形槽、该凸部具有与该V形槽的一对斜面接触的形状。10.如权利要求9的曝光装置的制造方法，其中，该凸部与该V形槽的一对斜面线接触。11.如权利要求I至10中任一项的曝光装置的制造方法，其中，在该第I定位装置的调整中，调整与该机体工具的三处对应设置的三个该第I定位装置。12.如权利要求第11项的曝光装置的制造方法，其中，在该对接中，通过与该机体的三处对应设置的三个该第2定位装置将该该机体与该第I模块彼此加以对接。13.如权利要求I至12中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该第I模块是包含保持该感应物体的载台的载台模块。14.一种组件制造方法，包含 使用以权利要求I至13中任一项的曝光装置的制造方法所制造的曝光装置使感应物体曝光的动作；以及 使曝光后的该感应物体显影的动作。15.一种曝光装置的制造方法，以制造该曝光装置，该曝光装置具备包含机体、与对接于该机体的第I模块的多个模块，用以使感应物体曝光，该方法包含 为了使与运送的该第I模块实质上为相同构件的第I模块工具与该机体对接时两者的位置关系成为所欲关系，而调整设在该第I模块工具与该机体之间的第I定位装置的动作； 将通过该调整后该第I定位装置与该第I模块工具对接时的位置关系成为该所欲关系的该机体加以运送的动作；以及 在运送目的地，通过与该第I定位装置相同构成的第2定位装置将该机体与该第I模块彼此加以对接的动作，其中第2定位装置是与该调整后的该第I定位装置为相同状态且设在该第I模块与该机体之间。16.如权利要求15的曝光装置的制造方法，其中，作为该第I模块工具，使用运送的该第I模块。17.如权利要求15或16的曝光装置的制造方法，其中，在该第I定位装置的调整中，调整该第I定位装置以使该机体的第I基准面与该第I模块工具的第2基准面间的位置关系成为所欲关系。18.如权利要求17的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包括测量该第I基准面与该第2基准面间的倾斜，以及调整该第I定位装置以使该第I模块工具的倾斜受到调整。19.如权利要求17或18的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包括测量该第I基准面的该第2基准面间的旋转偏差，以及调整该第I定位装置以使该第I模块工具的旋转受到调整。20.如权利要求17至19中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包括测量该第I基准面与该第2基准面间的位置偏差，以及调整该第I定位装置以使该第I模块工具的位置受到调整。21.如权利要求15至20中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该第I定位装置的调整包含将设在该机体与第I模块工具中一方的形成有凹部的第I构件、与设在该机体与该第I模块工具中另一方的形成有凸部的第2构件，通过该凹部与该凸部间的卡合彼此加以卡合，以及相对于该第I模块工具调整该第I构件与该第2构件中设于该第I模块工具的一者的位置的动作，该第I构件与该第2构件构成该第I定位装置。22.如权利要求第21项的曝光装置的制造方法，其中，该对接包括将设于该机体与该第I模块中一方的该第I构件、与设于该机体与该第I模块中另一方的该第2构件中的一个构件与该第一构件和该第二构件的另一方构件彼此卡合的动作，该第I构件与该第2构件构成该第2定位装置，该一个构件是设于该第I模块而与该调整后的该第I定位装置处于相同状态的构件。23.如权利要求21或22的曝光装置的制造方法，其中，该凹部为V形槽、该凸部具有与该V形槽的一对斜面接触的形状。24.如权利要求23的曝光装置的制造方法，其中，该凸部与该V形槽的一对斜面线接触。25.如权利要求15至24中任一项的曝光装置的制造方法，其中，在第I定位装置的调整中，调整与该机体的三处对应设置的三个该第I定位装置。26.如权利要求25的曝光装置的制造方法，其中，在该对接中，通过与该机体的三处对应设置的三个该第2定位装置将该机体与该第I模块加以对接。27.如权利要求15至26中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该第I模块是包含保持该感应物体的载台的载台模块。28.一种组件制造方法，包含 使用以权利要求15至27中任一项的曝光装置的制造方法所制造的曝光装置使感应物体曝光的动作；以及 使曝光后的该感应物体显影的动作。29.一种曝光装置的制造方法，以制造该曝光装置，该曝光装置具备包含机体、与通过定位装置对接于该机体的第I模块的多个模块，用以使感应物体曝光，该方法包含 调整用以决定该机体与该第I模块间的对接时的该机体与该第I模块间的位置关系的该定位装置，以使该机体的第I基准面与该第I模块的第2基准面间的位置关系成为所欲关系的动作。30.如权利要求29的曝光装置的制造方法，其中，该第I模块是包含保持该感应物体的载台的载台模块。31.如权利要求29或30的曝光装置的制造方法，其中，该定位装置的调整包括测量该第I基准面与该第2基准面间的倾斜，以及调整该定位装置以使该第I模块的倾斜受到调難iF. O32.如权利要求29至31中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该定位装置的调整包含测量该第I基准面与该第2基准面间的旋转偏差，以及调整该定位装置以使该第I模块的旋转受到调整的动作。33.如权利要求29至32中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该定位装置的调整包含测量该第I基准面与该第2基准面间的位置偏差，以及调整该定位装置以使该第I模块的位置受到调整。34.如权利要求29至33中任一项的曝光装置的制造方法，其中，该定位装置的调整包含将设于该机体与该第I模块中一方的形成有凹部的第I构件、与设于该机体与该第I模块中另一方的形成有凸部的第2构件，藉由该凹部与该凸部间的卡合彼此加以卡合，以及相对于该机体调整该第I构件与该第2构件中设于该机体的一者的位置的动作，该第I构件与该第2构件构成该定位装置。35.如权利要求34的曝光装置的制造方法，其中，该凹部为V形槽、该凸部具有与该V形槽的一对斜面接触的形状。36.如权利要求35的曝光装置的制造方法，其中，该凸部与该V形槽的一对斜面线接触。37.如权利要求29至3...
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