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本发明的曝光装置的制造方法包含为使机体的计量架的绝对基准面与载台模块的载台位置基准面间的位置关系成为所欲关系，而调整用以决定机体与载台模块间的对接时位置关系的定位装置的动作(步骤412～418)。如此，之后仅需通过定位装置将机体与载台模块加...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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