线圈组件及其制造方法技术

提供了一种线圈组件及其制造方法。所述线圈组件包括线圈单元，所述线圈单元包括通过堆叠多个导电图案形成的线圈图案，所述多个导电图案具有不同的线宽。所述多个导电图案包括第一导电图案和堆叠在第一导电图案上的第二导电图案，第二导电图案具有比第一导电图案的线宽宽的线宽。

Coil assembly and method of manufacturing the same

A coil assembly and a method of manufacturing the coil assembly are provided. The coil assembly includes a coil unit including a coil pattern formed by stacking a plurality of conductive patterns, the plurality of conductive patterns having different linewidth. The conductive pattern includes second conductive patterns on the first conductive pattern on the first conductive pattern and the stack, the second conductive pattern having a width wider than the first conductive pattern of the line.

【技术实现步骤摘要】
线圈组件及其制造方法本申请要求于2015年11月24日在韩国知识产权局提交的第10-2015-0164530号韩国专利申请的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被包含于此。
本公开涉及一种线圈组件。
技术介绍
诸如数字TV、移动电话、笔记本电脑的电子装置通常使用高频带宽内的信号来发送和接收数据，将预期的是，这样的信息技术(IT)电子装置将随着其多功能性和复杂性的增加而越来越多地使用高频并且被连接到USB端口或其它通信端口。这里，为了获得高的数据发送/接收速率，通信可从MHz频带被切换为更高的GHz频带，以允许通过更多数量的内部信号线来交换数据。同时，为了交换大量的数据，当主装置与外围装置之间以高频GHz频带发送信号时，由于信号延迟和噪声的问题，导致平稳地处理数据时发生问题。为了解决这些问题，在彼此连接的IT电子装置和外围装置附近设置电磁干扰(electromagneticinterference，EMI)处理组件。例如，可使用共模滤波器(CMF)等。随着电子装置的小型化和纤薄化，需要诸如CMF等的线圈组件的尺寸和厚度减小，为了满足这些要求，已减小了线圈的线宽。这里，然而，当减小线圈的线宽时，直流(DC)电阻Rdc增大，为了减小DC电阻，需要增大线圈的面积。为了增大线圈的面积，可增大线圈的厚度，以获得高的厚宽比(AR)。然而，实现精细的图案(微图案)和高厚宽比的困难性大，到目前为止提出的形成线圈的方法在实现精细的图案和高厚宽比方面存在限制。
技术实现思路
本公开的一方面可提供一种能够获得精细的图案和高厚宽比的线圈组件及其制造方法。根据本公开的一方面，一种线圈图案可通过堆叠多个导电图案来形成。例如，可使用堆叠双层抗蚀图案(双堆叠)以形成线圈图案的方法。根据本公开的另一方面，一种线圈组件包括线圈单元，所述线圈单元包括通过堆叠多个导电图案形成的线圈图案，所述多个导电图案具有不同的线宽。根据本公开的另一方面，一种制造线圈组件的方法包括：制备基板，其中，所述基板的至少一个表面上形成有种子层；使形成在基板上的种子层图案化；在基板上形成第一抗蚀图案；使用第一抗蚀图案作为掩模在种子层上形成第一镀层，以形成第一镀覆图案；在第一抗蚀图案上形成第二抗蚀图案，其中，第二抗蚀图案之间的间距与第一抗蚀图案之间的间距不同；使用第二抗蚀图案作为掩模在第一镀层上形成第二镀层，以形成第二镀覆图案。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其它方面、特征以及其它优点将更易于理解，在附图中：图1是示出应用于电子装置的线圈组件的示例的示意图；图2是示出线圈组件的示例的示意性透视图；图3是沿着图2中的I-I'线截取的线圈组件的剖视图；图4是图3中的线圈组件的区域R的示意性放大截面图；图5是沿着图2中的I-I'线截取的另一线圈组件的剖视图；图6是图5中的线圈组件的区域Q的示意性放大截面图；图7A至图7K是示意性地示出制造用于实现精细的线宽(或临界尺寸)和高厚宽比的线圈图案的过程的示例的截面图；图8A至图8I是示意性地示出制造在实现精细的线宽(或临界尺寸)和高厚宽比方面受到限制的线圈图案的过程的示例的截面图。具体实施方式在下文中，将参照附图在下面描述本公开的实施例。然而，本公开可按照许多不同的形式来举例说明，并且不应该被解释为局限于在此阐述的特定实施例。更确切地说，提供这些实施例，以使本公开将是彻底的和完整的，并将本公开的范围充分地传达给本领域技术人员。在整个说明书中，将理解的是，当诸如层、区域或晶圆(基板)的元件被称为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或者“结合到”另一元件时，所述元件可直接“在”另一元件“上”、直接“连接到”另一元件或直接“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的其它元件。相比之下，当元件被称为“直接位于”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时，可不存在介于它们之间的其它元件或层。相同的标号始终指示相同的元件。如在此使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关联的所列项目中的任何以及全部组合。将明显的是，虽然可在此使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种构件、组件、区域、层和/或部分，但是这些构件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例实施例的教导的情况下，下面描述的第一构件、组件、区域、层或部分可称作第二构件、组件、区域、层或部分。为了描述的方便，可在此使用与空间相关的术语(例如，“在……之上”、“上方”、“在……之下”和“下方”等)，以描述如图中示出的一个元件与一个或更多个其它元件的关系。将理解的是，除了图中示出的方位之外，与空间相关的术语意在包括装置在使用或操作时的不同方位。例如，如果图中的装置翻转，则被描述为“在”其它元件或特征“之上”或“上方”的元件将被定位为“在”所述其它元件或特征“之下”或“下方”。因此，术语“在……之上”可根据附图中的特定方向而包含“在……之上”和“在……之下”的两种方位。装置可被另外定位(旋转90度或处于其它方位)，并可对在此使用的与空间相关的描述符做出相应解释。在此使用的术语仅用于描述特定实施例，并且无意限制本公开。除非上下文中另外清楚地指明，否则如在此使用的单数形式也意在包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用术语“包括”和/或“包含”时，列举存在所述的特征、整体、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组合，但并不排除存在或增加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组合。在下文中，将参照示出本公开的实施例的示意图来描述本公开的实施例。在附图中，例如，由于制造技术和/或公差，可估计出所示出的形状的修改。因此，本公开的实施例不应被解释为受限于在此示出的区域的特定形状，而是应被解释为例如包括由于制造造成的形状的改变。以下的实施例还可由实施例中的一个或其组合而构成。下面描述的本公开的内容可具有多种构造，在此仅提出所需构造，但不限于此。电子装置图1是示出应用于电子装置的线圈组件的示例的示意图。参照图1，电子装置1000可以为包括外壳1001、USB输入单元1002和相机单元1003的移动电话。移动电话1000的内部可包括主板1010以及安装在主板1010上或安装在主板1010中且通过电路图案1020连接的各种电子组件1030和1040。这里，作为电子组件1030和1040的一部分，本公开中的线圈组件10可安装在电子装置1000的与USB输入单元1002或相机单元1003对应的区域上作为例如共模滤波器。相似或不同地，本公开中的线圈组件还可应用于任何其它电子装置以及附图中示出的移动电话。例如，出于各种目的，本公开中的线圈组件可应用于个人数字助理(PDA)、数字摄像机、数码相机、网络系统、计算机、监视器、电视、视频游戏装置、智能手表以及本领域技术人员众所周知的任何其它电子装置。线圈组件在下文中，将描述本公开中的线圈组件。这里，出于描述的目的，将共模滤波器作为线圈组件的示例进行描述，但本公开不限于此。本公开的内容还可应用于用于各种其它目的线圈组件。例如，基于线圈图案的布局，线圈组件可以为电感器。图2是示出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线圈组件，所述线圈组件包括线圈单元，所述线圈单元包括通过堆叠多个导电图案形成的线圈图案，所述多个导电图案具有不同的线宽。

【技术特征摘要】
2015.11.24 KR 10-2015-01645301.一种线圈组件，所述线圈组件包括线圈单元，所述线圈单元包括通过堆叠多个导电图案形成的线圈图案，所述多个导电图案具有不同的线宽。2.如权利要求1所述的线圈组件，其中，所述多个导电图案包括第一导电图案以及堆叠在第一导电图案上的第二导电图案，第二导电图案具有比第一导电图案的线宽宽的线宽。3.如权利要求2所述的线圈组件，其中，第一导电图案包括种子层和第一镀层，第二导电图案被构造为第二镀层。4.如权利要求1所述的线圈组件，其中，所述线圈图案具有大于1的厚宽比。5.如权利要求1所述的线圈组件，其中，所述线圈图案呈平面螺旋形状。6.如权利要求1所述的线圈组件，所述线圈组件还...

【专利技术属性】
技术研发人员：林钟凤，梁主欢，洪锡逸，崔才烈，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR