基板传送系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种基板传送系统，其应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其中，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。本实用新型专利技术提供的基板传送系统，减少了密封传动机构的使用，降低了设备成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种基板传送系统，尤其涉及一种化学气相沉积装置中的基板传送系统。
技术介绍
薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原料和制造成本的潜力，因此，市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长而制造薄膜太阳能电池的技术和设备更成为近年来的研究热点。化学气相沉积设备是常用的薄膜太阳能电池制造设备。而制造薄膜太阳能电池的电极通常采用低压化学气相沉积装置来完成。在前述的低压化学气相沉积装置中，用于制造薄膜太阳能电池的玻璃基板将被基板传送系统从玻璃基板承载室传送到玻璃基板处理腔中，然后在所述玻璃基板处理腔中，所述玻璃基板将 被所述基板传送系统调整到某一高度位置，以便对所述玻璃基板机进行低压化学气相沉积处理。也即，所述玻璃基板在所述低压化学气相沉积装置中要完成两个方向的运动，即前后移动和上下移动。所述前后移动用以将所述玻璃基板传输到不同的腔室中，所述上下移动用以将所述玻璃基板调整到预定的高度位置，以便对所述玻璃基板进行前述的低压化学气相沉积处理。在现有技术中，所述基板传送系统中通常采用滚轮或辊装置，所述滚轮或辊可以作轴向运动，以在基座的抬升销的配合下，完成所述玻璃基板的上下移动，所述滚轮或辊还可以滚动，已完成所述玻璃基板的前后移动。图I为示出了公开号为CN101636522A的中国专利文件中揭示的基板传送系统，所述基板传送系统包括滚轮或辊36，滚轮或辊36可以作轴向伸缩运动，当可竖直移动的抬升销(图未示)升起基板到预定高度后，所述滚轮或辊36伸出，支向所述基板底部，并开始滚动，以便实现对所述基板的传送。现有技术的基板传送系统为了实现对所述滚轮或辊的滚动和轴向伸缩控制，往往会将所述基板传送系统的一部分传动驱动机构设置在腔体外，并且设置专门的密封传动机构用于密封连接内传动机构与外传动机构，例如中国公开专利CN101648649号所公开的基板传送系统(图未示)，其包括设置在腔室外的驱动机构和外传动机构、容置在腔室侧壁密封孔中的密封传动机构以及布设在腔室内两侧的内传动机构，所述驱动机构同步驱动外传动机构，所述密封传动机构一端与外传动机构相连，另一端与内传动机构相连，所述内传动机构包括传动轴和传送轮，所述传动轴一端与密封传动机构相连，另一端与传送轮相连，通过传送轮来传送基片等薄板材料。但该种基板传送系统一方面由于其具有外传动机构，另一方面其传输辊的一端设置在腔体侧壁内，由于传输辊的数量较多，因此需要多组密封传动体，这种多组的密封传动机构提高了设备的制造成本，并且容易引起设备故障。
技术实现思路
本技术提供的基板传送系统，以减少密封传动机构的使用，降低成本。为了达到上述目的，本技术提供一种基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其特征在于，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。优选地，所述密封装置包括旋转驱动密封装置，所述旋转驱动密封装置用于密封连接所述旋转驱动机构与所述动力机构。优选地，所述密封装置包括伸缩驱动密封装置，所述伸缩驱动密封装置用以密封连接所述伸缩驱动机构与所述动力机构。优选地,所述动力机构包括伸缩驱动动力机构与旋转驱动动力机构,所述旋转驱动密封装置用于密封连接所述旋转驱动机构与所述旋转驱动动力机构，所述伸缩驱动密封装置用于密封连接所述伸缩驱动机构与所述伸缩驱动动力机构。 优选地，所述传动部件为传输滚子或辊。优选地，所述传动部件具有轴，所述轴装设在支座上，所述支座的伸出、撤回或摆动可以实现所述转动部件的伸缩运动。优选地,所述旋转驱动动力机构包括马达与链条。优选地,所述旋转驱动机构包括与所述链条相连接的软轴、与所述软轴相连的伞齿轮对。优选地,所述伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴、与轴连接的旋转机构、与所述旋转机构相连接的连杆、与所述连杆和所述支座连接的导向，所述导向用以伸出或撤回所述支座。优选地，所述伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴、与所述轴连接的旋转机构、与所述旋转机构相连接的连杆、与所述连杆和所述支座连接的铰支座，所述铰支座用以摆动所述支座，以实现所述传动部件的伸缩运动。本技术的所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。因此本技术不需设置任何用于密封传动部件的密封传动机构，节省了成本，也避免了因密封传动机构导致的任何设备故障。另外，本技术的密封装置仅用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构，这使得密封装置的结构更为简单，降低了设备成本。附图说明图I是现有技术的基板传送系统的不意图；图2是本技术的处理腔室上盖打开后的基板传送系统的一个实施例子的俯视图；图3是沿图2的AA线所得的剖面示意图；图4是图3所不的基板传送系统的传动部件缩回后的不意图；图5是本技术的处理腔室上盖打开后的基板传送系统的另一个实施例子的俯视图；图6是沿图5的BB线所得的剖面示意图；图7是图6所不的基板传送系统的传动部件缩回后的不意图。具体实施方式本技术提供的基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其中，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。因此本技术不需设置任何用于密封传动部件的密封传动机构，节省了成本，也避免了因密封传动机构导致的任何设备故障。另外，本技术的密封装置仅用于密封连接所 述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构，这使得密封装置的结构更为简单，降低了设备成本。以下结合附图分别进行详细说明。实施例I结合图2、3所示，本技术的基板传送系统应用于一处理设备(未有图示)中，所述处理设备在本技术的最佳实施例子中是低压化学气相沉积设备，所述低压化学气相沉积设备主要用于制造薄膜太阳能电池的电极。所述处理设备具有处理腔室20，所述处理腔室20内设置有基座(未图示)用于放置待处理的基板13，所述基板在本技术中是用于制造薄膜太阳能电池的玻璃基板。所述处理腔室20具有上盖(未图示)，所述上盖用于封闭所述处理腔室以使之形成真空环境，以便对所述基板13进行处理。图2示出了所述处理腔室的上盖打开后的基板传送系统的俯视图，所述基板传送系统包括传动部件6、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置,所述动力机构用于为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其特征在于，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李一成，李冠龙，
申请(专利权)人：理想能源设备上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：