【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及化学气相沉积。更具体地，本公开涉及由于二甲基硅烷的分解而在基材上化学气相沉积。专利技术背景 通常，基材的表面不包括期望的性能特征。不能包括特定的期望的性能特征可导致在某些环境中表面劣化、不能满足某些性能要求或它们的组合。例如，在某些环境中，金属、玻璃和陶瓷表面可经受不期望的表面活性，例如化学吸附、催化活性、腐蚀性侵袭、氧化、副产物聚集或静摩擦和/或其他不期望的表面活性。不期望的表面活性可引起其他分子的化学吸附、其他分子的可逆和不可逆的物理吸附、与其他分子的催化反应性、来自外来物类(specy)的侵袭、表面的分子分解或它们的组合。可施用涂层以保护表面免受不期望的表面活性。在表面上沉积涂层的一种已知的方法为化学气相沉积。化学气相沉积在受控的气氛和温度条件下由蒸气使固体材料沉积预定的时间以形成涂层。化学气相沉积可包括初级处理，接着官能化(表面反应)，以加入预定的分子。为了提供某些期望的性能特征，可沉积非晶氢化硅表面，并且可与不饱和烃试剂反应，以使基材的表面改性。然而，基于非晶娃的化学气相沉积材料对被苛性高pH介质溶解敏感，由此限制它们的应用。这些材料不耐...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：D·A·史密斯，J·B·马特泽拉，P·H·西尔维斯，G·A·贝伦，
申请(专利权)人：西尔科特克公司，
类型：发明
国别省市：
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