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本发明涉及一种化学气相沉积涂层、化学气相沉积制品和化学气相沉积方法。所述涂层、制品和方法包括二甲基硅烷的热分解，以实现期望的表面性质。...
该专利属于西尔科特克公司所有，仅供学习研究参考，未经过西尔科特克公司授权不得商用。

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