含氟热化学气相沉积方法和制品技术

本发明专利技术公开了热化学气相沉积处理。具体而言，热化学气相沉积处理的制品包括基材和所述基材上的疏油处理层，所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟和氢。所述疏油处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。所述热化学气相沉积方法包括将制品放置在热化学气相沉积室内，使二甲基硅烷热反应以产生层，氧化所述层以产生氧化层，并对该氧化层进行氟官能化以产生经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层。所述经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。

Thermochemical Vapor Deposition Method and Products Containing Fluorine

【技术实现步骤摘要】
含氟热化学气相沉积方法和制品
本专利技术涉及含氟热化学气相沉积。更具体而言，本专利技术涉及含氟热化学气相沉积方法和含氟热化学气相沉积处理的制品。
技术介绍
处理方法是实现表面性质的重要方式，其可以对部件的性能具有显著影响。本文所用的术语“处理(treatment)”及其语法变体旨在涵盖材料的生长或施加(如涂覆)和通过使用化学品的表面改性(例如官能化)。已知的处理包括通过热化学气相沉积将材料施加到各种表面上。这样的材料通常在流通体系(flow-throughsystem)中施加，所述流通体系涉及恒定气体流通过反应室，其不包括气体浸泡，包括不允许流通体系的条件转化为非流通体系(notflow-throughsystem)的条件的特征。一些应用已经通过静态方法，所述静态方法涉及泵和反应容器的吹扫循环，在所述反应容器内有气体浸泡(gaseoussoak)的阶段。流通方法(flow-throughprocesses)允许恒定浓度或基本恒定浓度的前体流体接触表面，这是理想的，因为其允许在没有气相成核的情况下施加涂层。然而，这样的流通方法受限于视线技术(line-of-sighttechnique本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.热化学气相沉积处理的制品，其包含：基材；和所述基材上的疏油处理层，所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟、和氢；其中所述疏油处理层的处理厚度小于600nm且具有不均匀的润湿机制。

【技术特征摘要】
1.热化学气相沉积处理的制品，其包含：基材；和所述基材上的疏油处理层，所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟、和氢；其中所述疏油处理层的处理厚度小于600nm且具有不均匀的润湿机制。2.根据权利要求1所述的制品，其中所述疏油处理层为经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层。3.根据权利要求1所述的制品，其中与具有大于700nm的相当厚度的相同处理层相比，所述疏油处理层具有更大的抗热氧化性。4.根据权利要求1所述的制品，其中与具有大于700nm的相当厚度的相同处理层相比，所述疏油处理层具有基本上相同的十六烷接触角测量值。5.根据权利要求1所述的制品，其中所述疏油处理层的厚度在340-540nm之间。6.根据权利要求1所述的制品，其中所述疏油处理层的厚度小于500nm。7.根据权利要求1所述的制品，其中所述疏油处理层在十六烷接触角测量过程中具有液体-空气复合体系。8.根据权利要求1所述的制品，其中所述疏油处理层的粗糙度比为1，所述粗糙度比为所述疏油处理层的真实表面积除以十六烷接触角测量过程中...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·A·史密斯，
申请(专利权)人：西尔科特克公司，
类型：发明
国别省市：美国,US