一种管式PECVD石墨舟冷却房制造技术

本实用新型专利技术公开了一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房，所述冷却房的内部设置有冷却风扇，所述冷却房的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨，所述机械手臂移动导轨的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂，所机械手臂能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟悬挂于所述冷却风扇的上方。该管式PECVD石墨舟冷却房，能够明显改善石墨舟的冷却效果，减少冷却时间，提升产能。

A tube type PECVD graphite boat cooling room

The utility model discloses a pipe type PECVD graphite boat cooling room, including cooling room, inside the cooling room is provided with a cooling fan, the cooling room opposite side walls are symmetrically provided with mechanical arm moving guide rail, and the inner side of the arm mobile guide rail end is provided with a movable groove, a mechanical arm set the mobile tank, the mechanical arm can move along the groove movement, both ends of the graphite boat to be cooled are respectively provided with grooves, with a groove via one of the mechanical arm is inserted into the corresponding side, with above graphite boat is suspended from the cooling fan. The tube type PECVD graphite boat cooling chamber can significantly improve the cooling effect of graphite boat, reduce cooling time and increase production capacity.

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD石墨舟冷却房
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种管式PECVD石墨舟冷却房。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池，可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片，目前绝大多数都采用硅片制成。光伏电池生产过程中，需要在光伏电池的半成品电池即硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD,PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层，即减反射膜。此减反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的体钝化和表面钝化，以及利用氮化硅薄膜的强致密性和耐多数酸碱性，在硅片表面形成保护层。现有的PECVD工序所使用的机型主要分为，板式PECVD和管式PECVD机台，而目前管式PECVD机台由于生产的电池片发电效率高、设备Uptime高等优势，已经逐步成为PECVD机台选型时的首选。在PECVD工序中，石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房(5)，所述冷却房(5)的内部设置有冷却风扇(4)，其特征在于，所述冷却房(5)的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨(8)，所述机械手臂移动导轨(8)的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂(7)，所机械手臂(7)能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟(1)的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂(7)插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟(1)悬挂于所述冷却风扇(4)的上方。

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房(5)，所述冷却房(5)的内部设置有冷却风扇(4)，其特征在于，所述冷却房(5)的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨(8)，所述机械手臂移动导轨(8)的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂(7)，所机械手臂(7)能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟(1)的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂(7)插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟(1)悬挂于所述冷却风扇(4)的上方。2.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟冷却房，其特征在于，所述机械手臂移动导轨(8)的长度c为80～120cm。3.根据权利要求2所述的管式PECVD石墨舟冷却房，其特征在于，所述机械手臂移动导轨(8)的长度c为100cm。4.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁中存，党继东，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32