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本实用新型公开了一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房，所述冷却房的内部设置有冷却风扇，所述冷却房的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨，所述机械手臂移动导轨的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂，所机械手臂能够沿着所述移...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司授权不得商用。