【技术实现步骤摘要】
压力控制系统和压力控制方法
本专利技术涉及等离子化学气相沉积
，特别涉及一种压力控制系统和压力控制方法。
技术介绍
真空腔体广泛应用于各种领域，用于提供一定压力真空反应条件。在传统的真空腔体中，通常包括一个对压力进行检测的真空计。但是仅靠一个真空计只能对真空腔体的压力进行观测，一旦调节压力阀门，就会使真空腔体内的压力发生改变。但是这种压力改变无法精确控制，真空计的显示会严重滞后。因此，如果腔体需要对压力精确控制，那么就需要增加一个真空计，并且该压力计与控制系统相连接，使其能灵敏、精准地显示调节后的压力情况。但是增加一个真空计的同时，也增加了真空腔体的制造成本。并且，由于增加了一个真空计,所以，真空壳体的体积也需要作出相应的调整，因此一些不配套的腔体结构可能无法使用，进而增加了生产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种压力控制系统，用于控制真空腔体内的压力，包括：与真空腔体通过真空管道连接的真空泵，真空管道上设置有电控制阀门；用于测量真空腔体的真空度的真空计，真空计和电控制阀门通过可编程序控制器通信连接；可编程序控制器根据真空计所发送的压力信号控制电控...
【技术保护点】
1.一种压力控制系统，用于控制真空腔体(2)内的压力，包括：与所述真空腔体(2)通过真空管道(5)连接的真空泵(1)，所述真空管道(5)上设置有电控制阀门(4)；用于测量所述真空腔体(2)的真空度的真空计(3)，所述真空计(3)和所述电控制阀门(4)通过可编程序控制器(6)通信连接；所述可编程序控制器(6)根据所述真空计(3)所发送的压力信号控制所述电控制阀门(4)的开度。
【技术特征摘要】
1.一种压力控制系统，用于控制真空腔体(2)内的压力，包括：与所述真空腔体(2)通过真空管道(5)连接的真空泵(1)，所述真空管道(5)上设置有电控制阀门(4)；用于测量所述真空腔体(2)的真空度的真空计(3)，所述真空计(3)和所述电控制阀门(4)通过可编程序控制器(6)通信连接；所述可编程序控制器(6)根据所述真空计(3)所发送的压力信号控制所述电控制阀门(4)的开度。2.根据权利要求1的压力控制系统，其特征在于，所述可编程序控制器(6)包括：依次连接的电压信号接收模块，数字转换模块，线性处理模块和模拟信号输出模块；其中，电压信号接收模块用于接收所述真空计(3)所发送的压力信号；数字转换模块用于将所述压力信号转换为预设的数值区间内的数值；线性处理模块用于将所述数值线性处理为模拟信号；模拟信号输出模块用于向所述电控制阀门(4)输出所述模拟信号。3.根据权利要求2所述的压力控制系统，其特征在于，所述可编程序控制器(6)还包括：设置在电压信号接收模块和数字转换模块之间的滤波模块。4.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，在所述真空计(3)和所述可编程序控制器(6)之间设置有第一滤波器(7a)。5.根据权利要求1所述的压力控制系统，其特征在于，在所述可编程序控制器(6)与所述电控制阀门(4)之间设置有第二滤波器(7b)。6.一种压力控制方法，其特征在于，包括如下步骤：信号测量步骤：真空计(3)测量真空腔体...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐玄玄，张志强，张二辉，
申请(专利权)人：上海稷以科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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