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含氟热化学气相沉积方法和制品技术
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文档序号:21508234
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本发明公开了热化学气相沉积处理。具体而言,热化学气相沉积处理的制品包括基材和所述基材上的疏油处理层,所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟和氢。所述疏油处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。所述热化学气相沉积方法包括将制品放置在热...
该专利属于西尔科特克公司所有,仅供学习研究参考,未经过西尔科特克公司授权不得商用。
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