【技术实现步骤摘要】
本技术涉及玻璃加工
,尤其是涉及到玻璃镀膜机。
技术介绍
玻璃镀膜是在玻璃的表面镀上ー层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,改变玻璃的光学性能,以满足某种特定要求的生产エ艺。磁控溅射镀膜是在真空室中,利用荷能粒子轰击靶材表面,使其原子获得足够的能量而溅出进入气相,然后在エ件表面沉积成膜。多弧离子镀膜是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对エ件进行沉积成膜。目前,传统的玻璃离子镀膜机无论是筒体式或卧式,都只是单腔室,毎次镀膜完毕,都要对镀膜室进行抽真空处理,生产效率低。而且镀膜室内大都是设置ー种镀膜源,镀膜的选材比较单一,难以适应多层复合镀膜玻璃的エ艺要求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供ー种生产效率高,可复合多层镀膜的玻璃镀膜机。本技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现ー种玻璃磁控多弧离子镀膜机,包括真空镀膜室,其特征在干所述真空镀膜室的前后两端分别连接有真空入料加热室以及真空出料室,所述真空入料加热室和真空出料室分别通过真空锁与真空镀膜室连通和隔离,所述真空镀膜室、真空入料加热室以及真空出料室的室腔内底部均设有传动机构,其中所述真空镀膜室的传动机构设成往复传动,所述真空镀膜室的室腔内顶部设有若干电弧蒸发离化源和若干磁控溅射源。采用本技术所帯来的有益效果由于本技术在真空镀膜室的前后两端设有分别设有真空入料加热室以及真空出料室,通过真空入料加热室和真空出料室完成玻璃入料和出料的真空过渡。真空镀膜室完成一次抽真空后,就可以连续地分批对玻璃进行镀膜处理,在真空镀膜室进行镀膜的过程中,可同时对真 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.ー种玻璃磁控多弧离子镀膜机,包括真空镀膜室,其特征在于所述真空镀膜室的前后两端分别连接有真空入料加热室以及真空出料室,所述真空入料加热室和真空出料室分别通过真空锁与真空镀膜室连通和...
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