一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，该装置包括：第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同；其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。采用本实用新型专利技术实施例所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液，且成本低，危险性小。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制作エ艺
，更具体地说，涉及ー种硅片扩散、制结用的扩散源液供给装置。
技术介绍
扩散制结是太阳能电池片制作过程中较为重要的ー个环节。扩散制结一般是将P型硅片放入扩散炉内，向炉内通入含N型杂质原子(如磷原子)的气体，N型杂质原子通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成PN结；或是在N型硅片上扩散P型杂质原子(如硼原子)，形成PN结。利用扩散源液气体供给装置使保护性气体(如纯净的氮气)，在源瓶中进行鼓泡(所述源瓶盛放有扩散源液，放置在恒温槽中)，把扩散源液蒸汽带入高温扩散炉中，经高温加热同硅片表面反应生成磷原子，并向硅片内扩散掺杂而形成PN结。目前，常用的扩散源液为三氯氧磷、三溴化硼，分别用于磷原子及硼原子的扩散。參考图1，图I为现有的硅片扩散制结エ艺中所用的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置结构示意图。由图I可知，现有的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置包括装有一定量扩散源液源瓶I ;与所述源瓶I连接的通气管道，包括进气管2和出气管3 ;其中，所述进气管2延伸至源瓶I底部，所述进气管2连接扩散源液气体供给装置；所述出气管3连接扩散炉。当进行扩散制结时，扩散源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，其特征在于，包括 第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液； 第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同； 其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。2.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述第一源瓶和第二源瓶内的扩散源液均为三氯氧磷源液或三溴化硼源液。...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘润中，韩小旭，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：