一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，该装置包括：第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同；其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。采用本实用新型专利技术实施例所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液，且成本低，危险性小。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制作エ艺
，更具体地说，涉及ー种硅片扩散、制结用的扩散源液供给装置。
技术介绍
扩散制结是太阳能电池片制作过程中较为重要的ー个环节。扩散制结一般是将P型硅片放入扩散炉内，向炉内通入含N型杂质原子(如磷原子)的气体，N型杂质原子通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成PN结；或是在N型硅片上扩散P型杂质原子(如硼原子)，形成PN结。利用扩散源液气体供给装置使保护性气体(如纯净的氮气)，在源瓶中进行鼓泡(所述源瓶盛放有扩散源液，放置在恒温槽中)，把扩散源液蒸汽带入高温扩散炉中，经高温加热同硅片表面反应生成磷原子，并向硅片内扩散掺杂而形成PN结。目前，常用的扩散源液为三氯氧磷、三溴化硼，分别用于磷原子及硼原子的扩散。參考图1，图I为现有的硅片扩散制结エ艺中所用的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置结构示意图。由图I可知，现有的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置包括装有一定量扩散源液源瓶I ;与所述源瓶I连接的通气管道，包括进气管2和出气管3 ;其中，所述进气管2延伸至源瓶I底部，所述进气管2连接扩散源液气体供给装置；所述出气管3连接扩散炉。当进行扩散制结时，扩散源液气体供给装置将纯净的氮气通过进气管2通入源瓶I内，氮气从源瓶I底部经过源瓶I内的扩散源液上升至源瓶I的顶部，在此过程中，氮气将会携帯充足的扩散源液蒸汽，形成混合气体，所述混合气体通过出气管3进入扩散炉进行扩散制结，同时扩散源液液位4随着气体的流动会不断地下降。通过上述对现有技术中的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置的结构及其工作过程的描述可知，当扩散源液液位下降到一定的位置(一般为源瓶中初始源液的十分之一位置左右)时，会导致氮气气泡与源液的接触时间变短，进而导致混合气体中単位体积内的扩散源液蒸汽的含量过低，达不到扩散制结浓度要求范围，此时需要更换源瓶。对于更换下来的源瓶，其内还剩余一小部分扩散源液，如果将更换下来的源瓶直接返厂将导致扩散源液的严重浪费，因此需要对更换下来的源瓶内的扩散源液进行收集。而由于扩散源液一般均易挥发且毒性大，因此不能采用普通的倾倒方式进行收集；ー种方法是通过空气压カ将源瓶内剰余的扩散源液压入到收集罐中，但是这种方法需要专用的设备，因此成本较高,而且收集过程中危险性极高。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，该装置能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液，且成本低，危险性小。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，其特征在于，包括第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同；其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。、优选的，上述装置中，所述第一源瓶和第二源瓶内的扩散源液均为三氯氧磷源液或三溴化硼源液。优选的，上述装置中，所述耐腐蚀性气管包括聚偏氟こ烯气管或聚丙烯气管。优选的，上述装置中，所述第一源瓶的出气管通过接头与所述第二源瓶的进气管相连，且所述接头为耐腐蚀性接头。优选的，上述装置中，所述接头包括聚偏氟こ烯接头或聚丙烯接头。优选的，上述装置中，所述第一源瓶的出气管为Φ8管，所述第二源瓶的进气管为Φ6管，所述接头为Φ8转Φ6接头。优选的，上述装置中，所述第一源瓶的进气管为Φ6管。优选的，上述装置中，其特征在于，所述第二源瓶的出气管为Φ8管。从上述技术方案可以看出，本技术所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置包括第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同；其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。通过上述技术方案的描述可知，进行扩散制结时，扩散源液气体供给装置通过第一源瓶进气管为所述扩散源液供给装置提供气体，所述气体首先经过所述第一源瓶形成含有扩散源液蒸汽的混合气体(由于第一源瓶内源液较少，故所述混合气体中扩散源液蒸汽含量不饱和)，然后混合气体在第二源瓶流通过程中使扩散源液蒸汽含量达到饱和，之后通过第ニ源瓶的出气管进入扩散炉内进行扩散制结。因此，本技术所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液，况且这种充分利用过程不需要专用设备，故成本低；而且，采用该硅片扩散制结用的扩散源液供给装置进行扩散制结的过程比较安全。由于扩散制结所用的扩散源液为极易挥发的化学试剂，所以即使第一源瓶内的扩散源液液位下降到瓶内进气管口下方，由第一源瓶进气管进入的气体也可将瓶内的源液吹干，实现源液的充分利用。因此，本技术所述技术方案实现了所述第一源瓶内源液的充分利用，且成本低，安全性好。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有技术中常见的ー种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置的结构示意图；图2为本技术实施例所提供的一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。正如
技术介绍
部分所述，现有的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置不能够完全利用源瓶中的扩散源液，而在对源瓶内未利用完的扩散源液进行收集时，由于扩散源液一般均易挥发且毒性大，所以不能采用普通的倾倒方式进行收集；ー种方法是通过空气压カ将源瓶内剰余的扩散源液压入到收集罐中，但是这种方法需要专用的设备，因此成本较高，而且收集过程中危险性极高。因此，提供一种能够充分利用扩散源液的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，对于提高扩散源液的利用率，降低生产成本，实现安全生产有着重要的意义。为了解决上述问题，本技术提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，所述装置能够充分利用源瓶内的扩散源液，且无需昂贵的设备，因此可降低生产成本，而且该装置安全性还比较高。參考图2，图2本技术实施例所提供的一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置的结构示意图，所述扩散源液供给装置包括第一源瓶5，所述第一源瓶5内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶6，所述第二源瓶6内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶6内的扩散源液与第一源瓶5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，其特征在于，包括 第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液； 第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同； 其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。2.根据权利要求I所述的装置，其特征在于，所述第一源瓶和第二源瓶内的扩散源液均为三氯氧磷源液或三溴化硼源液。...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘润中，韩小旭，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：