涂覆设备制造技术

本发明专利技术提供了结构紧凑的涂覆设备，其中，作为施加高精确的涂覆的手段，可精确地控制通过涂覆设备的涂覆媒介的量。涂覆设备包括可膨胀和收缩的管子２，在管子２中非挥发和不可压缩的工作流体被抽入和抽出；包括歧管３的底模４，管子安装在歧管３中；形成在底模中和连接至歧管的涂覆媒介注入导管５；形成在底模中和连接至歧管的裂隙喷嘴６；以及连接至管子的泵７，该泵７从管子中抽出工作流体Ｆ以收缩管子，用于通过媒介注入导管把涂覆媒介Ｐ抽入到歧管中，并且也把工作流体抽入到管子中以膨胀管子，用于穿过裂隙喷嘴从歧管中排出涂覆媒介。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种结构紧凑的涂覆设备，其中，作为施加高精确的涂覆的手段，可精确地控制流过涂覆设备的涂覆媒介的量。
技术介绍
在等离子显示面板、液晶显示面板以及各种半导体器件的制造中使用的一类涂覆设备，必须能够施加高精确的表面涂覆。在参考文献1和2中描述了这种类型的传统涂覆设备的例子，该涂覆设备使用管子隔膜泵将涂覆媒介供给所述涂覆设备。参考文献3描述了一种结构，其中，在圆柱体内同心地安装一个管子，在所述管子外部和圆柱体之间设置液体流动空间，操作流体可能流过所述空间，以及液体抗蚀剂流过管子的内侧。所述管子由工作流体从外部增压和降压，这具有反复扭曲所述管子以获得泵功能的作用。日本公开专利公布2004-50026日本公开专利公布2007-54698日本公开专利公布2000-234589
技术实现思路
本专利技术解决的缺点在相关技术的结构中，前述的管子是由工作流体进行外部增压的。这导致了在径向方向上的管子的扭曲，具体地是指从圆形的横截面变为椭圆形的横截面。因此抽吸作用更多地导致了所述管子形状的变化而不是内部体积的变化。调整这种类型的泵的流量是困难的，这个特性使得安装了这种类型的泵的涂覆设备均匀地施加精确厚度的涂覆媒介是困难的。此外，在管子的外部表面被增压的结构中，必须提供在其中工作流体能流出管子的空间，从而使得在所述泵中提供工作流体的流动空间成为必要，该流动空间比由所述泵驱动的涂覆媒介的体积大。这种结构阻 碍了所述涂覆设备被构建成优选的紧凑的尺寸，相对于它的实际应用这 个因素可能是不利的。鉴于在相关技术中的上述的缺点，本专利技术构造了一种紧凑的涂覆设 备，其中，为了施加高精确的涂覆，流过所述设备的涂覆媒介的量可被 精确地控制。解决相关技术中的缺点的手段所述涂覆设备包括可膨胀和收縮的管子，在管子中非挥发和不可压缩的工作流体被抽入和抽出；包括歧管的壳体，管子安装在歧管中；形 成在所述壳体中且连接至所述歧管的涂覆媒介注入导管；形成在所述壳 体中且连接至所述歧管的涂覆媒介流出部件；以及连接至所述管子的 泵，该泵从所述管子中抽出工作流体以收縮所述管子，用于通过所述媒 介注入导管把涂覆媒介抽入到所述歧管中，并且也把工作流体抽入到所 述管子中以膨胀所述管子，用于通过所述媒介流出部件从所述歧管中排 出涂覆媒介。所述泵是具有连接至所述壳体的筒部件的注射器类型的泵，和流动 通道穿过所述壳体形成，用于连接所述筒部件的内部空间至所述歧管。回流截止阀被设置在所述媒介注入导管处以阻止涂覆媒介通过所述 媒介注入导管从所述歧管流出。所述壳体以底模的形式构建，所述底模限定了用于收容所述管子的 所述歧管，并且也以裂隙形的喷嘴的形式限定了所述媒介流出部件。专利技术的效果本专利技术是一种紧凑的涂覆设备，通过该设备涂覆媒介的流量可以被 精确地控制，以施加高度精确的涂覆。附图说明图l是一个优选实施例的涂覆设备专利技术的横截面视图； 图2是在涂覆媒介排出时图1的结构的横截面视图；图3是本专利技术的另一个实施例的示意图。 附图标记说明6:裂缝喷嘴 7: 8:回流截止阀 12:1:涂覆设备 2: 3:歧管 4: 4a:流动通道管子 底模5:媒介注入导管泵筒部件媒介流出部件P:涂覆媒介F:非挥发的和不可压縮的工作流体 具体实施例方式下文参考所附的附图描述涂覆设备专利技术的一个优选实施例。图1和 图2示出了作为涂覆设备1的本专利技术的一个实施例。所述设备1包括管子2，其随着非挥发的不可压縮的工作流体F的注入而膨胀和随着所述工作流体F的流出而收縮；底模4，其形成了壳体，限定了管子2位于其中的歧管3; 媒介注入导管5，穿过底模4连接至歧管3;媒介流出部件整体形成在底模4中，作为裂隙喷嘴6，连接至歧管 3;和连接至管子2的泵7，该泵7从管子2中抽出工作流体F，从而使得 管子2收縮和抽入涂覆媒介P至歧管3，并且驱动工作流体F流入管子 2，从而使得管子2膨胀且通过裂隙喷嘴6排出涂覆媒介P。泵7是具有直接连接至底模4的筒部件12的注射器类型的泵，筒部 件12内的空间通过流动通道4a连接至形成至底模4的歧管3。回流截止 阀8被安装至媒介注入导管5以阻止涂覆媒介P通过媒介注入导管部件5 从歧管3流出。当涂覆媒介P被抽入到涂覆设备1时，图1显示了底模4的两个视 图。图la是垂直的横截面的侧视图，和图lb是由箭头标记线'A，画出 的平面取出的垂直的横截面的端视图。图2提供了当从涂覆设备1排出涂覆媒介P的操作时的底模4的两个同样的视图。涂覆设备1的主要部件是底模4、涂覆媒介供给系统9、管子2以及泵7，穿过底模4施加涂 覆以在玻璃面板或其它相类似的涂覆目标X上形成涂覆层，涂敷媒介P 从涂覆媒介供给系统9流入底模4中，管子2安装在底模4中，以及泵7 把工作流体F抽入至管子2和从管子2中抽出。底模4由不锈钢或其它类型的高刚度的金属构成，沿涂覆目标X的 宽度形成了细长的主体，并连接至沿着涂覆目标X的长度能推动它的机 构(在图中未示出)。歧管3形成为在底模4内和沿着底模4的长度的圆 柱形空间。裂隙喷嘴6沿着歧管3的下部的整个长度形成并与之连通。 裂隙喷嘴6形成了穿过底模4从歧管3沿着歧管3的大致长度延伸的向 下的通道。媒介注入导管5形成了穿过底模4的孔类型(bore-type)结 构并连接至歧管3。涂覆媒介供给系统9与媒介注入导管5相连接。涂覆媒介供给系统9 包括在其中储存了涂覆媒介P的涂覆媒介容器10;具有位于涂覆媒介 容器10中的一端的柔性进料管11，而另一端连接至媒介注入导管5;以 及在底模4和涂覆媒介容器10之间的中间处安装至进料管11的回流截 止阀8，所述截止阀8运作以允许涂覆媒介P流动至歧管3，但是阻止涂 覆媒介P从歧管3回流至涂覆媒介容器10。优选地，回流截止阀8邻近 媒介注入导管5安装。位于歧管3内的管子2是由允许管子2膨胀和收缩的软的柔性的合 成树脂形成的长的、窄的、袋状结构。所述形成的管子2更像是一个气 球，并且在一端有开口部件2a。在附图中显示的实施例描述了穿过管子 2的一个末端形成的开口部件2a。管子2的一端固定连接至歧管3的纵 向端。流动通道4a穿过在歧管3的一端的底模4，并且管子2的开口部 件2a连接至流动通道4a。管子2的另一端固定连接至歧管3的另一纵向 端。当管子2被从内部加压时，在其体积排量上的增加导致了在歧管3 内的空间的相应的减小。相反地，当管子2被从内部降压时，在其体积 排量上的减小导致了歧管3内的空间的相应的增加。泵7被连接至底模4并且通过流动通道4a连接至歧管3的一端。在 这个实施例中，如注射器类型泵的泵7包括通过流动通道4u连接至管子62的开口部件2a的筒部件12、可滑动地收容在筒部件12中的活塞13， 以及驱动活塞13往返运动的驱动部件14。所述泵7的筒部件12直接连 接至底模4。在筒部件12中的空间通过开口部件2a直接连接至管子2的 内部空间。非挥发性的和不可压縮的工作流体F密封在泵7中，由活塞 13的往复运动驱动流体F流入和流出筒部件12。在泵7中的活塞13的往复移动把工作流体F抽入或抽出管子2，所 述注入导致了管子2的膨胀，并且所述流出导致了它的收縮。管子2的 膨胀从活塞13在它的收缩行程的一端的点开始，并且当在活塞13在它 的完全延伸的位置时，管子2达到膨胀的最大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂覆设备，该涂覆设备包括：　可膨胀和收缩的管子，在管子中非挥发和不可压缩的工作流体被抽入和抽出；　包括歧管的壳体，所述管子安装在所述歧管中；　形成在所述壳体中且连接至所述歧管的涂覆媒介注入导管；　形成在所述壳体中 且连接至所述歧管的涂覆媒介流出部件；以及　连接至所述管子的泵，该泵从所述管子中抽出工作流体以收缩所述管子，用于通过所述媒介注入导管把涂覆媒介抽入到所述歧管中，并且也把工作流体抽入到所述管子中以膨胀所述管子，用于通过所述媒介流出部件从所 述歧管中排出涂覆媒介。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黑木贵史，魏志丹，西尾勤，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]