一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒技术

本发明专利技术实施例提供一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒。涉及液晶面板制造领域，能够在放置盒内检测基板是否受损，保证后续工艺的成品率。该放置盒，包括放置盒框架，位于放置盒框架顶部的顶部金属板、位于放置盒框架底部的底部金属板，在放置盒框架上设有多层基板放置架，放置盒的每层基板放置架上均设有至少一个压力传感器，或者，放置盒的隔层基板放置架上设有至少一个压力传感器；压力传感器用于获取放置在基板放置架上的基板的压力值；数据处理单元，与基板放置架上的压力传感器分别相连，用于根据压力传感器获取的压力值确定放置在基板放置架上的基板是否发生破损。本发明专利技术实施例用于在搬送基板的过程中对基板进行检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶面板制造领域，尤其涉及ー种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒。
技术介绍
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)阵列エ艺过程中，通常基板需要至少4次以上的成膜，光刻，刻蚀，剥离等处理过程，在此过程中需要将基板在设备间进行来回搬运。一般地，基板是放置在放置盒中进行搬运的，整个搬运过程是完全自动化进行的，当エ艺设备发生问题，导致基板破损时，由于有些设备检测能力有限或根本就没有基板破损检测装置，破损基板不能有效检测出来，因此在后续生产过程中会严重影响阵列基板的成品率。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供ー种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒，能够在放置盒内检测基板是否受损，保证后续エ艺的成品率。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案一方面提供ー种放置盒，包括放置盒框架，位于所述放置盒框架顶部的顶部金属板、位于所述放置盒框架底部的底部金属板，在所述放置盒框架上设有多层基板放置架，其特征在干，所述放置盒的每层基板放置架上均设有至少ー个压カ传感器，或者，所述放置盒的隔层基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种放置盒，包括放置盒框架，位于所述放置盒框架顶部的顶部金属板、位于所述放置盒框架底部的底部金属板，在所述放置盒框架上设有多层基板放置架，其特征在于，还包括， 所述放置盒的每层基板放置架上均设有至少一个压力传感器，或者，所述放置盒的隔层基板放置架上设有至少一个压力传感器；所述压力传感器用于获取放置在所述基板放置架上的基板的压力值； 数据处理单元，与所述基板放置架上的压力传感器分别相连，用于根据所述压力传感器获取的压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。2.根据权利要求I所述的放置盒，其特征在于，所述放置盒中各层基板放置架上设置的压力传感器位置相同。3.根据权利要求I所述的放置盒，其特征在于，所述放置盒还包括 报警器，与所述数据处理单元连接，用于当所述数据处理单元确定所述放置盒中的基板发生破损时，进行报警。4.一种放置盒内基板破损的检测方法，其特征在于，包括 获取放置在每层基板放置架上的基板的压力值，或者，获取放置在隔层基板放置架上的基板的压力值； 根据所述压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：董云，秦纬，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：