【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石英舟。
技术介绍
石英舟主要用于装载硅片，并放入扩散炉中处理。传统石英舟具有四根用于定位及装载硅片的载片杆，四根载片杆包括两根高位杆和两根低位杆，高位杆和低位杆上都设有相同的卡槽，高位杆的卡槽的纵向方向垂直于水平面，低位杆的卡槽的纵向方向与高位杆的卡槽的纵向方向垂直。石英舟所装载的硅片的3个棱边分别与水平面平行或垂直。在实际应用中，操作人员装片时必须先对准高位杆的两个卡槽，再插入，然后再对准低位杆的卡槽，放下硅片，方能完成一次插片动作，此装片过程硅片切入角度小，操作不便。另一方面，一种规格的传统石英舟只能装载一种尺寸的娃片。
技术实现思路
本技术实施例提供一种石英舟，较现有的石英舟减少了载片杆的数量，且斜置的卡槽设计使得装片时硅片切入卡槽的角度增大，方便装片操作。一种石英舟，包括支撑架，平行安装于支撑架上的左高位载片杆、右高位载片杆和低位载片杆；左闻位载片杆和右闻位载片杆位于同一闻度；低位载片杆设于左高位载片杆和右高位载片杆之间的下方；左高位载片杆设有向左侧倾斜的第一卡槽，右高位载片杆设有向右侧倾斜的第二卡槽，第--^槽和第二卡槽相互对称；低位载片杆...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁惠钰，
申请(专利权)人：浚鑫科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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