流体喷嘴制造技术

一种流体喷嘴，其特征在于，包括：　　　　喷嘴本体，其由一对板体构成，且具有向基板吐出流体的吐出口；　　　　流路，其形成在所述喷嘴本体内部，且用于朝所述吐出口方向引导流体；　　　　其中，所述吐出口端部的吐出面面积大于所述流路的横截面面积，以使通过所述流路的流体减速后吐出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种流体喷嘴，尤其涉及一种通过改善其结构而能够 均匀喷射药液的流体喷嘴。
技术介绍
通常，流体喷嘴是向基板表面喷射药液等流体的装置。所述流体 喷嘴根据其用途可应用于各种领域。即，所述流体喷嘴可应用于在基 板上涂敷药液而形成涂层的涂敷装置、利用药液对基板进行显影作业 的显影装置、以喷射清洗液来除去基板上异物的清洗装置等种种装置。图1和图2举例示出了流体喷嘴用于显影装置上的示意图。如图1 所示，流体喷嘴1的喷嘴本体2设置于基板G的上部。而且，所述喷 嘴本体2上连接有用于供给药液W的药液供给管6。由此，药液供给 管6所供给的药液W通过喷嘴本体2的吐出口 N喷射到基板G上面。此时，喷嘴本体2由第一板体4及第二板体3构成，且所述第一 板体4及第二板体3相隔预定距离设置，从而在所述两个板体之间形 成流;洛，并在所述流;洛端部形成吐出口 N。药液W则通过所述吐出口 N向外喷射。现有技术的流体喷嘴通过喷嘴喷射药液时，其药液沿着直线轨迹 高速喷出后与基板相接触。此时，由于高速喷出的药液与基板点接触， 因此在基板上面由吐出药液所形成的表面不均匀且呈波紋状，从而在 生产工序中会导致障碍。 为了克服上述问题，当通过加大吐出口的横截面来使药液减速时， 吐出口内表面和药液之间的附着力减弱，而组成药液的分子之间引力 相对变大，进而使药液相互凝聚，导致药液以不均匀的状态喷射。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种通过改善喷嘴结 构来向基板均勾地吐出药液的流体喷嘴。为实现上述目的，本专利技术提供一种流体喷嘴，其包括喷嘴本体， 其由一对板体构成，且具有向基板吐出流体的吐出口；流if各，其形成在所述喷嘴本体内部，且用于朝所述吐出口方向引导流体。其中，所 述吐出口端部的吐出面面积大于所述流路的横截面面积，此结构可使 通过所述流路的流体减速后吐出。本专利技术所提供的流体喷嘴具有如下优点。第一，由于形成在喷嘴内部的流路宽度比较窄，所述流体对流路 内表面的附着力比较大，因此可在关闭阀门时能够使残留的流体停止 流动，从而防止不必要的流体吐出而减少流体使用量。第二，由于吐出口的吐出面积大于流3各的才黄截面面积，因此可以 使大量流体低速吐出。第三，由于在吐出口上形成曲面，流体可沿着所述曲面吐出，因 此可以使大量流体低速向基板吐出。第四，在流路上设置腔室的结构，可以使流过所述流路的流体暂 时停留在腔室后再流出。因此此种结构可以使流体在流^Ji均匀地流 动。附图说明图1是现有流体喷嘴结构的侧视图。图2是图1所示现有流体喷嘴结构的主视图。图3是根据本专利技术优选实施例的流体喷嘴的立体图。图4是图3所示流体喷嘴的主视图。图5是图3所示流体喷嘴的侧视图。图6是图5所示流体喷嘴中吐出口的局部放大图。标记i兌明10:喷嘴12:喷嘴本体14:第二板体16:第一板体20:流路C:腔室具体实施方式下面，参照附图详细说明本专利技术优选实施例的流体喷嘴结构。所述流体喷嘴可适用于显影装置、涂敷装置及清洗装置，但下面 仅对其在显影装置上的应用情况进行说明。图3是本专利技术优选实施例的流体喷嘴的简单立体图，图4是图3所示流体喷嘴的正s见图。如图所示，本专利技术的流体喷嘴IO可配置于通过辊轮R输送的基板 G的上方。所述流体喷嘴IO具有用于向基板G吐出流体W (以下称为药液) 的吐出口 N,并且包括用于向所述喷嘴10供给药液W的流体供给管 18 (以下称为药液供给管)。设置后的所述流体喷嘴10与所述基板G具有一定的倾斜角度。因 此，通过所述流体喷嘴IO吐出的药液W朝基板G前进方向的相反方 向吐出。如图4至图6所示，本专利技术实施例的流体喷嘴10包括喷嘴本体 12，其由一对板体组成，且具有用于向基板G吐出药液W的吐出口 N; 流路20，其形成在所述喷嘴本体12内部，且用于朝所述吐出口 N方 向引导流体。组成所述喷嘴本体12的一对板体包括第一板体16与第二板体14, 其中所述第一板体16靠近所述基板G,而所述第二板体14则与所述 第一板体16相对地设置，并通过其它连接部件(未图示)与所述第一 板体16相连接。所述板体的形状为长方体状。其中，所述第一板体16和第二板体14相隔预定距离设置，且两 者之间形成流路20。如上所述，所述流路20可将第一板体16及第二板体14这两个板体通过连4姿部件相互连4姿而形成，也可以通过对 一个4反体内部进4亍加 工而形成。另外，所述多个药液供给管18分别与所述喷嘴本体12相连通， 而所述长方体状喷嘴本体12上，所述多个药液供给管18之间最好具 有预定的间隔，以便向所述流路20供给均匀的药液。此时，在预定范围内形成所述流路20的宽度t,例如，其宽度范 围为O.lmm至1.9mm。即，所述宽度t窄于现有装置的流路宽度2.0mm。如此，当流路20的宽度t较窄时单位面积的流量就会减少，进而 使流路20内表面和药液W之间的附着力增加。即，作用于药液W和流路20内表面之间的附着力将会克服作用 于药液之间的引力。因此，通过所述流路20流出的药液W之间互相凝聚的倾向不如 沿着扁平状流路20内表面流下的倾向占优势。因此，所述药液W可 通过扁平状流路20的内表面均匀吐出。而且，向所述流路20供给药液W的药液供给管18通过开关功能 可有效地喷射流体。即，如果阻断向喷嘴12的流路20供给的药液W,由于药液W得 不到继续供给，流路20中的药液W所受到的重力.小于其对流路20内 表面的附着力。因此，残留在流路20中的药液W在所述附着力的作 用下停留在某一位置上。通过所述喷嘴12的开关功能可防止不必要的药液吐出，从而可节省约50%的药液。 '另外，所述流路20上形成有腔室C，其对药液W起着引导作用，从 而使药液W喷射得更加均匀。即，所述腔室C是在所述第一板体16 表面上以预定深度形成的具有半圓型剖面的槽。所述腔室C在第一板 体16的表面横向形成。因此，通过所述流路20流下的药液W储存在所述腔室C内后， 在腔室C内互相混合。并且，如果腔室C内部储存预定量的药液W就 会溢出，从而使药液W沿着流路20流下。如此，在药液W通过腔室C的过程中，在流过流路20的上部区 域即流过腔室C上部区域时，由于药液W与流路20内表面接触，因 此药液W的流动性增加，/人而会以不均匀的状态流下。因此，设置所述腔室C,可在腔室C内暂时储存及混合流入的药 液W后，再使其通过流路20的下部区域向下流。通过此过程，可使 药液W互相混合，进而可以在比较均匀的状态下吐出。上述说明中，腔室C的剖面形状为半圓形，但本专利技术并不局限于 上述形状，也可以是三角形、四角形等，只要是能够储存药液W都可 以。另外，如图6所示，本专利技术实施例的吐出口 N由所述第一板体16 的端部25及第二板体14的端部22所形成。所述吐出口 N的宽度tl 大于所述流路20的宽度t。 由于吐出口 N端部的吐出面面积大于流^各20的4黄截面面积，因此可以-使通过所述流路20的药液W减速后吐出。而且，本专利技术的实施例中，与第二板体14的端部22相比，所述 第一板体16的端部25向基板G方向更加凸出。优选地，在所述第一 氺反体16的吐出口 N的端部25上形成曲面24。具体而言，将所述第一板体16的端部25设成比第二板体14的端 部22更向基板G方向凸出的原因是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体喷嘴，其特征在于，包括：喷嘴本体，其由一对板体构成，且具有向基板吐出流体的吐出口；流路，其形成在所述喷嘴本体内部，且用于朝所述吐出口方向引导流体；其中，所述吐出口端部的吐出面面积大于所述流路的横截面面积，以使通过所述流路的流体减速后吐出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金银洙，李敦衡，李尚旭，
申请(专利权)人：显示器生产服务株式会社，
类型：发明
国别省市：KR