流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器制造技术

本发明专利技术提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对在半导体エ序(process)中所使用的材料气体等的流量进行控制的质量流量控制器、用于该质量流量控制器的流量測量机构以及压カ传感器。
技术介绍
作为用于所述的流量測量机构及质量流量控制器的压カ传感器，如专利文献1所示，公知的有如下的压カ传感器，该压カ传感器利用设置于隔膜(diaphragm)等上的感压面来承受流体的压力，根据所述感压面的位移来測量流体压力。对于该方式的压カ传感器而言，受压构件的感压面的面积越大，则灵敏度越高。可是，在以往的质量流量控制器中，存在具有在主体中安装有压カ传感器及流量调节阀等结构的质量流量控制器，在所述主体内部形成有控制对象流体流动的流路。尤其是近年来，根据使多个质量流量控制器紧凑地并排的要求等，如图10所示，已开发出如下的质量流量控制器100'，该质量流量控制器100'的主体Γ为细长的形状，并且在设定为与该主体1'的长边方向平行的一个面上的部件安装面Ic'上，沿着所述长边方向串联地安装有压カ传感器2'及流量调节阀4'等，从而将质量流量控制器整体的宽度方向尺寸控制成较小。现有技术文献专利文献专利文献1 日本专利公开公报实开平2-55123号本专利技术所要解决的技术问题然而，对于以往的质量流量控制器而言，由于以使压カ传感器的感压面与主体的部件安装面平行的方式来配置该压カ传感器，因此，如果要进一步减小整体的宽度方向的尺寸，则感压面的面积会变小，从而有可能导致灵敏度降低。该情况成为小型化、尤其是使宽度方向縮小的瓶颈(bottleneck)。
技术实现思路
本专利技术是鉴于如上所述的问题点而做出的专利技术，本专利技术的目的在于提供如下的压 カ传感器、流量測量机构、或者质量流量控制器，所述的压カ传感器、流量測量机构、或者质量流量控制器不会导致压カ测量灵敏度的降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。S卩，本专利技术的流量測量机构，其包括主体単元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；流体阻力部件，切断所述内部流路，并且具有阻力流路，该阻力流路连通被切断而成的上游侧内部流路及下游侧内部流路；以及压カ传感器，安装在所述主体単元上，对所述上游侧内部流路或下游侧内部流路中的至少一方的压カ进行检测，所述流量測量机构能够基于所述阻力流路的阻力值及所述压カ传感器检测到的流体压カ算出所述流体的流量，所述流量測量机构的特征在于所述主体単元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。按照所述的流量测量机构，可以增大压力传感器的感压面从而提高压力灵敏度特性，同时可以显著地减小宽度方向尺寸，即，可以显著地使与长边方向垂直且与部件安装面平行的尺寸减小。由此，可以紧凑地并排多个流量测量机构。此外，在所述流体阻力部件中贯通形成有连接通道，并且将所述流体阻力部件设置在所述主体单元与压力传感器之间，在该设置状态下，所述上游侧内部流路与设置在所述压力传感器的压力导入口通过所述连接通道而连通，如此，由于压力传感器层叠配置在流体阻力部件上，因此，可以防止主体单元无必要地变长。而且，按照如上所述的流量测量机构，由于压力传感器与流体阻力部件层叠配置于主体单元的相同一侧，因此，可以尽可能地使压力传感器与流体阻力部件之间的内部流路长度缩短。因此，可以使流量感测 (sensing)的响应性提高。将压力传感器安装在所述主体单元上，由此通过将所述流体阻力部件夹持在所述压力传感器与所述主体单元之间来保持所述流体阻力部件，如此，压力传感器直接发挥作为将流体阻力部件安装在主体单元上的安装件的作用，因此，可以削减部件。作为能够更紧凑且能够很好地实施密封等的具体方式，可列举如下的方式预先使凹部在所述主体单元的外表面上开口，所述上游侧内部流路及下游侧内部流路在所述凹部的侧面或底面开口，将所述流体阻力部件收容于所述凹部内，将所述压力传感器安装在主体单元上，由此，由该压力传感器的安装面来对凹部的开口进行密封，并保持流体阻力部件。为了利用所述流量测量机构形成质量流量控制器，可以设置安装在所述主体单元上的流量调节阀与控制电路，该控制电路对所述流量调节阀进行控制，以使所述流量测量机构的测量流量变成预定的目标流量。作为压力传感器，可以列举如下方式的压力传感器包括将规定的一个面设定为安装面的主体构件，在该主体构件内形成有对被测量的流体的压力进行检测的感压面，使所述感压面与所述安装面大致垂直。更具体而言，优选的是，使所述主体构件成为扁平的形状，将与所述主体构件的扁平面垂直的一个面设为所述安装面，并且与所述扁平面大致平行地设置所述感压面。此外，如下的压力传感器也能很好地解决本专利技术所要解决的问题，该压力传感器包括主体构件，该主体构件包括压力导入口，用于导入被测量的对象流体；流体填充室， 填充有所述流体；以及流体导入通道，连通所述流体填充室及所述压力导入口，将所述流体填充室的一个面设定为用于对压力进行检测的感压面，将所述流体导入通道的相对于流体填充室的开口部位设定在与所述感压面大致垂直的侧面部位；或者所述流体导入通道相对于所述感压面平行或倾斜地形成。专利技术的效果按照本专利技术，可以增大压力传感器的感压面从而提高压力灵敏度特性，同时可以显著地减小宽度方向尺寸，即，可以显著地使与长边方向垂直且与部件安装面平行的尺寸减小。附图说明图1是本专利技术一个实施方式的质量流量控制器的流体回路图。图2是与图1为相同实施方式的质量流量控制器的整体立体图。图3是表示与图1为相同实施方式的质量流量控制器的内部构造的纵剖视图。图4是与图1为相同实施方式的质量流量控制器的俯视图。图5是表示与图1为相同实施方式的压力传感器的内部构造的横剖视图。图6是与图1为相同实施方式的质量流量控制器的分解立体图。图7是表示与图1为相同实施方式的流量调节阀的内部构造的部分剖视图。图8是表示与图1为相同实施方式的流量调节阀的内部构造的部分剖视图。图9是表示将与图1为相同实施方式的流体阻力部件收容于凹部的状态下的内部构造的部分剖视图。图10是表示以往的质量流量控制器的整体立体图。图11是表示本专利技术的其他实施方式的质量流量控制器的整体立体图。附图标记说明100…质量流量控制器10…流量测量机构1…主体单元Ia…内部流路Ia (2)…上游侧内部流路la(3)…下游侧内部流路Ic…部件安装面21、22…压力传感器2al…压力导入口2b 1...感压面3…流体阻力部件如…阻力流路3c…连接通道4…流量调节阀6…控制电路具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。本实施方式的质量流量控制器100搭载在例如气体面板(gas panel)上，构成半导体制造装置的材料供给管路的一部分，如图1的流体回路图、图2的整体立体图所示，该质量流量控制器100包括主体单元1，具有作为流量控制对象的流体流动的内部流路Ia ； 流量调节阀4，设置在所述内部流路Ia上；流量测量机构10，设置于比所述流量调节阀4更靠下游侧，对在所述内部流路Ia中流动的流体的质量流量进行测量；以及控制电路6 (未在图1中表示)，对所述流量调节阀4进行控制，以使所述流量测量机构10的测量流量变成预定的目标流量。下面对各部分进行详述。如图1所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：林繁之，桒原朗，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：