一种无窗质谱电离源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无窗质谱电离源，包括电离源腔体，还包括无窗射频真空紫外灯，无窗射频真空紫外灯的进气端与质量流量控制器E的出气端相连，质量流量控制器E的进气端与放电气体存储器相连，无窗射频真空紫外灯设置于电离源腔体顶端，且无窗射频真空紫外灯的出光口伸入至电离源腔体内部。本实用新型专利技术避免了传统真空紫外灯带有光窗的污染，有效的提高了质谱仪器灵敏度的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种无窗质谱电离源
本技术涉及质谱仪器领域，具体涉及一种自动校正的无窗质谱电离源。
技术介绍
如今人类赖以生存的环境周边通常存在各种挥发性、半挥发性的有机污染物，比如垃圾焚烧厂周边，化工厂周边等。虽然有些污染物在环境中的含量很低，但是其具有毒性、刺激性和致癌性，对人体造成各种急、慢性的损害，因此对环境中各种有机污染物的在线监测受到了人们的密切关注，并得以广泛的研究。质谱以其灵敏度高、普适性好、检测速度快，以及定性定量准确的特点，被越来越多的用于环境样品的快速、在线分析。具有70eV能量的电子轰击电离源（EI）是在线质谱中常用的电离源，每种有机物在这种电离源下都有特征谱图，能够准确的定性分析。但是，EI源在电离有机物时产生较多的碎片峰，使得它在分析复杂混合物时识谱困难，制约了其发展。为了降低解谱难度，侯可勇[中国专利技术专利:200610011793.2]和郑培超[中国专利技术专利申请:200810022557.X]使用真空紫外（VUV）灯作为质谱电离源，测量有机物时只得到有机物的分子离子峰，简化了谱图，可根据分子量进行快速的定性分析。但是，这种有光窗的真空紫外灯在连续工作时，其光窗容易污染，而导致灵敏度下降，长期使用使得定量精度变差。
技术实现思路
本技术公开了一种无窗质谱电离源，以无窗射频真空紫外灯替代传统的有光窗真空紫外灯，避免了光窗的污染，有效的提高质谱仪器的稳定性。为实现上述目的，本技术的技术方案为：一种无窗质谱电离源，包括电离源腔体，还包括无窗射频真空紫外灯，无窗射频真空紫外灯的进气端与质量流量控制器E的出气端相连，质量流量控制器E的进气端与放电气体存储器相连，无窗射频真空紫外灯设置于电离源腔体顶端，且无窗射频真空紫外灯的出光口伸入至电离源腔体内部；所述电离源腔体内设置有离子引出电极、离子传输电极组和孔电极，所述离子传输电极组包括若干块离子传输电极，离子引出电极、离子传输电极和孔电极之间呈平行、同轴放置，且相邻的离子引出电极与离子传输电极之间、离子传输电极与离子传输电极之间、离子传输电极与孔电极之间均通过绝缘环隔开；所述电离源腔体和第一片绝缘环两侧开设有进样孔，进样毛细管E和进样毛细管D分别从所述电离源腔体和所述第一片绝缘环的两侧通过小孔穿插进入电离源腔体内部，进样毛细管E的进样端与两通电磁阀E的一个端口相连，两通电磁阀E的另一个端口与实际样品气源相连，进样毛细管D的进样端与两通电磁阀D的一个端口相连，两通电磁阀D的另一个端口与质量流量控制器D的出气端相连，质量流量控制器D的进气端与标准样品存储器相连。进一步的，所述两通电磁阀E、两通电磁阀D、质量流量控制器E和质量流量控制器D与计算机控制系统相连，所述计算机控制系统用于控制两通电磁阀E、两通电磁阀D、质量流量控制器E和质量流量控制器D的通断和流量。进一步的，所述无窗射频真空紫外灯内设置有射频线圈，所述射频线圈用于产生超高频率的射频电压使放电气体存储器导入无窗射频真空紫外灯中的气体电离，从而产生光子。进一步的，离子引出电极、离子传输电极和孔电极为不锈钢板式电极，所述离子引出电极和孔电极上加载有直流电压，相邻的离子引出电极与离子传输电极之间、离子传输电极与离子传输电极之间、离子传输电极与孔电极之间均设置有阻值相同的电阻用于分压。进一步的，若干块离子传输电极厚度、内径和外径均相同。进一步的，进样毛细管E和进样毛细管D为长度和内径均相同的毛细管。本技术的无窗质谱电离源，通过采用无窗射频真空紫外灯，由于避免了传统真空紫外灯带有光窗的污染，有效的提高了质谱仪器灵敏度的稳定性，且使用寿命长，可广泛用于目标物的长期连续监测，尤其是在环境污染物的长期连续监测领域具有广阔的应用前景。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中，1-放电气体存储器，2-质量流量控制器E，3-无窗射频真空紫外灯，4-射频线圈，5-离子引出电极，6-进样毛细管D，7-两通电磁阀D，8-质量流量控制器D，9-标准样品存储器，10-离子传输电极，11-电离源腔体，12-孔电极，13-离子，14-真空紫外光，15-绝缘环，16-进样毛细管E，17-两通电磁阀E。具体实施方式以下结合附图，对本技术作进一步说明，但本技术的保护范围不限于以下实施例。如图1所示，一种无窗质谱电离源，包括电离源腔体11和无窗射频真空紫外灯3，无窗射频真空紫外灯3的进气端与质量流量控制器E2的出气端相连，质量流量控制器E2的进气端与放电气体存储器1相连，无窗射频真空紫外灯3通过CF35法兰固定于电离源腔体11顶端，且无窗射频真空紫外灯3的出光口伸入至电离源腔体11内部，其发出的真空紫外光14位于电离源腔体11内部，本实施例的无窗射频真空紫外灯3采用EUV-X-L627RFPoweredFlowLamp，为射频激发的放电灯，无光窗，无窗射频真空紫外灯3内设置有射频线圈4，射频线圈4用于产生超高频率的射频电压使放电气体存储器1导入无窗射频真空紫外灯3中的气体电离，从而产生光子，光通量为1015光子/秒。其中，电离源腔体11内设置有离子引出电极5、离子传输电极组和孔电极12，离子传输电极组包括4块离子传输电极10，离子引出电极5、离子传输电极10和孔电极12之间呈平行、同轴放置，且相邻的离子引出电极5与离子传输电极10之间、离子传输电极10与离子传输电极10之间、离子传输电极10与孔电极12之间均通过绝缘环15隔开；电离源腔体11和第一片绝缘环两侧开设有进样孔，进样毛细管E16和进样毛细管D6分别从所述电离源腔体11和所述第一片绝缘环的两侧通过小孔穿插进入电离源腔体11内部，进样毛细管E16的进样端与两通电磁阀E17的一个端口相连，两通电磁阀E17的另一个端口与实际样品气源相连，进样毛细管D6的进样端与两通电磁阀D7的一个端口相连，两通电磁阀D7的另一个端口与质量流量控制器D8的出气端相连，质量流量控制器D8的进气端与标准样品存储器9相连，通过进样毛细管E16和进样毛细管D6可以实现待测实际样品和标准样品的分开进样。为实现进样的自动控制，两通电磁阀E17、两通电磁阀D7、质量流量控制器E2和质量流量控制器D8与计算机控制系统相连，计算机控制系统用于控制两通电磁阀E17、两通电磁阀D7、质量流量控制器E2和质量流量控制器D8的通断和流量。离子引出电极5、离子传输电极10和孔电极12为不锈钢板式电极，4块离子传输电极10厚度、内径和外径均相同，在离子引出电极5和孔电极12上加载有直流电压，相邻的离子引出电极5与离子传输电极10之间、离子传输电极10与离子传输电极10之间、离子传输电极10与孔电极12之间均焊接有阻值相同的电阻用于分压。本实施例的进样毛细管E16和进样毛细管D6为长度和内径均相同的毛细管，以保证两路单独进样时质谱仪器进样量相同，电离源腔体11内的压强一致。该无窗质谱电离源，通过采用无窗射频真空紫外灯，由于避免了传统真空紫外灯带有光窗的污染，有效的提高了质谱仪器灵敏度的稳定性，且使用寿命长。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无窗质谱电离源，包括电离源腔体，其特征在于：还包括无窗射频真空紫外灯（3），无窗射频真空紫外灯（3）的进气端与质量流量控制器E（2）的出气端相连，质量流量控制器E（2）的进气端与放电气体存储器（1）相连，无窗射频真空紫外灯（3）设置于电离源腔体（11）顶端，且无窗射频真空紫外灯（3）的出光口伸入至电离源腔体（11）内部；所述电离源腔体（11）内设置有离子引出电极（5）、离子传输电极组和孔电极（12），所述离子传输电极组包括若干块离子传输电极（10），离子引出电极（5）、离子传输电极（10）和孔电极（12）之间呈平行、同轴放置，且相邻的离子引出电极（5）与离子传输电极（10）之间、离子传输电极（10）与离子传输电极（10）之间、离子传输电极（10）与孔电极（12）之间均通过绝缘环（15）隔开；所述电离源腔体（11）和第一片绝缘环两侧开设有进样孔，进样毛细管E（16）和进样毛细管D（6）分别从所述电离源腔体（11）和所述第一片绝缘环（15）的两侧通过小孔穿插进入电离源腔体（11）内部，进样毛细管E（16）的进样端与两通电磁阀E（17）的一个端口相连，两通电磁阀E（17）的另一个端口与实际样品气源相连，进样毛细管D（6）的进样端与两通电磁阀D（7）的一个端口相连，两通电磁阀D（7）的另一个端口与质量流量控制器D（8）的出气端相连，质量流量控制器D（8）的进气端与标准样品存储器（9）相连。...

【技术特征摘要】
1.一种无窗质谱电离源，包括电离源腔体，其特征在于：还包括无窗射频真空紫外灯（3），无窗射频真空紫外灯（3）的进气端与质量流量控制器E（2）的出气端相连，质量流量控制器E（2）的进气端与放电气体存储器（1）相连，无窗射频真空紫外灯（3）设置于电离源腔体（11）顶端，且无窗射频真空紫外灯（3）的出光口伸入至电离源腔体（11）内部；所述电离源腔体（11）内设置有离子引出电极（5）、离子传输电极组和孔电极（12），所述离子传输电极组包括若干块离子传输电极（10），离子引出电极（5）、离子传输电极（10）和孔电极（12）之间呈平行、同轴放置，且相邻的离子引出电极（5）与离子传输电极（10）之间、离子传输电极（10）与离子传输电极（10）之间、离子传输电极（10）与孔电极（12）之间均通过绝缘环（15）隔开；所述电离源腔体（11）和第一片绝缘环两侧开设有进样孔，进样毛细管E（16）和进样毛细管D（6）分别从所述电离源腔体（11）和所述第一片绝缘环（15）的两侧通过小孔穿插进入电离源腔体（11）内部，进样毛细管E（16）的进样端与两通电磁阀E（17）的一个端口相连，两通电磁阀E（17）的另一个端口与实际样品气源相连，进样毛细管D（6）的进样端与两通电磁阀D（7）的一个端口相连，两通电磁阀D...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐彬，朱立平，刘陈瑶，韩方源，梁沁沁，罗宗昌，
申请(专利权)人：广西电网有限责任公司电力科学研究院，
类型：新型
国别省市：广西,45