在线表征制造技术

提供了一种装置，所述装置包括：热隔离的待测器件，第一和第二电压被顺序施加到该热隔离的待测器件；局部加热元件，用于在分别顺序施加所述第一和第二电压期间基本同时地将第一和第二温度传递给所述待测器件；以及温度感测单元，用于测量所述待测器件的温度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在线表征
技术介绍
本申请要求在2009年9月21日向美国专利商标局提交的标题为“ IN-LINE CHARACTERIZATION(在线表征)”的美国专利申请12/563，437的优先权，该申请的全部内容在此引入作为参考。本专利技术的各方面涉及使用温度曲线(temperature profiling)实现在线表征。可靠的在线表征在新技术开发和产品制造中正变得日益关键。这种情况的至少一个原因是某些可靠性退化机理对于要采用的制造工艺的选择以及对于在工艺中使用的材料相对敏感。这些可靠性退化机理的实例包括导致偏压温度不稳定性(BTI)的退化机理并且该退化机理在至少高级集成电路(IC)技术中是主要的可靠性问题。但是，由于处于测试条件下的器件倾向在某个点(例如测试开始时，其中不再施加应力)之后相对迅速地从所施加的应力恢复(即，快速恢复)，因此一般不可能执行准确的在线BTI测试。器件迅速恢复的倾向是在提高的应力温度处特别要考虑的问题。在这些情况下，P-沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(PM0SFET)中的负偏压温度不稳定性 (NBTI)通常包括两种退化机理，它们例如包括沟道(Si)与栅极电介质(例如S本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：PC·王，TH·丁，M·I·尤努斯，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：