一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法技术

技术编号：7495588 阅读：357 留言：0更新日期：2012-07-10 19:50

一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法。本发明专利技术属于毫米尺寸微纳结构加工领域。该方法能够在较低成本下解决毫米尺寸、纳米精度微纳结构的加工问题。方法一：首先将待加工样品置于X-Y二维精密工作台上，通过AFM系统的逼近过程使AFM探针以小于1μN的垂直载荷接触待加工样品的表面；加工纳米线振列结构，设定加工长度、加工宽度、加工间距、加工方向、垂直载荷及加工速度的参数值。方法二与一不同的是：加工由多个相同微结构组合而成的阵列微结构；首先设定加工参数，加工时，由扫描陶管带动AFM探针运动，从而实现方形、圆形或等边三角形阵列微结构的加工。本发明专利技术采用AFM探针纳米刻划加工待加工样品的毫米尺寸微纳结构。