一种柔性导电线及设置有所述柔性导电性的柔性背板制造技术

本发明专利技术提供的一种柔性导电线的制备方法，括下述步骤：S1、在外界应力下将导电或非导电薄膜碎裂成纳米尺寸的薄膜碎片；S2、刻蚀所述薄膜碎片之间的边界形成沟槽，所述薄膜碎片之间的沟槽形成相互连通的网状沟槽；S3、向网状沟槽内沉积金属层，所述网状沟槽内填充的金属层形成网状金属线；S4、将网状金属线刻蚀成预定形状的柔性导电线。当采用此种柔性导电线的柔性背板发生弯曲时，采用具有网状金属线可以有效地释放金属线在反复弯曲时释放的应力，从而增加金属线的寿命，将极大提升柔性背板的弯曲性能，实现柔性屏体高的寿命。

Flexible conductive wire and flexible backboard provided with flexible conductive property

A preparation method of a flexible wire provided by the invention, the method comprises the following steps: S1, the external stress will be conductive or non-conductive film broken into nano size film fragments; S2, etching the film fragments boundary groove, groove between the thin film pieces form a netted groove with each other connected; S3, to the reticular groove depositing a metal layer, a metal layer formed wire mesh and the mesh filled in the trench; S4, wire mesh and etched into a predetermined shape flexible wire. When using the flexible wire flexible backplane bend, with wire mesh can effectively release the wire stress release in repeated bending, thereby increasing the life of the metal line, will greatly enhance the bending performance of flexible backplane, realize the high life of flexible screen.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性导电线及设置有所述柔性导电性的柔性背板
本专利技术涉及柔性显示装置领域，具体设计一种适用于柔性显示装置的柔性导电线，以及设置有这种柔性导电线的柔性背板。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，OLED(有机发光二极管)因其发光亮度高、色彩丰富、低压直流驱动、制备工艺简单等优点，日益成为国际研究的热点。OLED视野范围更广，可制成更大尺寸的产品，可满足用户对不同尺寸的要求。上述突出的优点决定了OLED将成为下一代显示技术的主流。随着材料技术的发展，显示屏已经可以制作成可弯曲的形式。采用柔性显示屏的设备有很多优点，比如携带方便、可弯曲、可随意变形等。但是柔性背板内部的金属线在弯曲状态下电阻容易发生巨大的变化甚至断裂，从而影响屏体的寿命。
技术实现思路
为此，本专利技术所要解决的技术问题现有柔性背板内部的金属线在弯曲状态下电阻容易发生巨大的变化甚至断裂的问题，提供一种柔性导电线，以及设置有这种柔性导电线的柔性背板。所述柔性导电线弯曲过程中电阻率能够保持稳定，延长了柔性背板的寿命。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案如下：一种柔性导电线的制备方法，包括下述步骤：S11、刻蚀薄膜碎片之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性导电线的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：S11、刻蚀薄膜碎片之间的边界形成沟槽，所述薄膜碎片之间的沟槽形成相互连通的网状沟槽；S12、在步骤S11的基础上沉积金属，所述薄膜碎片上和网状沟槽内形成金属层，所述网状沟槽内填充的金属层形成网状金属线；S13、将网状金属线刻蚀成预定形状的柔性导电线。

【技术特征摘要】
1.一种柔性导电线的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：S11、刻蚀薄膜碎片之间的边界形成沟槽，所述薄膜碎片之间的沟槽形成相互连通的网状沟槽；S12、在步骤S11的基础上沉积金属，所述薄膜碎片上和网状沟槽内形成金属层，所述网状沟槽内填充的金属层形成网状金属线；S13、将网状金属线刻蚀成预定形状的柔性导电线。2.根据权利要求1所述柔性导电线的制备方法，其特征在于，所述薄膜碎片为掺杂或非掺杂的多晶硅薄膜颗粒，所述掺杂或非掺杂的多晶硅薄膜颗粒是由多晶硅沉积成为薄膜过程中自然形成。3.根据权利要求1所述柔性导电线的制备方法，其特征在于，所述掺杂或非掺杂多晶硅薄膜颗粒之间的边界采用重铬酸钾溶液刻蚀，所述重铬酸钾溶液的浓度为0.04-0.4g/L，刻蚀时间为4-8s。4.根据权利要求1所述柔性导电线的制备方法，其特征在于，所述薄膜碎片是由薄膜在外界应力下碎裂而成，所述薄膜的厚度为30-80nm；所述外界应力为频率0.2M-1Mhz，功率50W-300W的超声波振动震荡。5.根据权利要求4所述柔性导电线的制备方法，其特征在于，所述薄膜碎片为掺杂或非掺杂的氧化硅薄膜碎片、掺杂或非掺杂的氮化硅薄膜碎片、掺杂或非掺杂的碳化硅薄膜碎片、聚酯膜薄膜碎片、聚丙烯膜薄膜碎片或并五苯薄膜碎片。6.根据权利要求5所述柔性导电线的制备方法，其特征在于，所述掺杂或非掺杂的氧化硅薄膜碎片之间的边界采用缓冲氧化蚀刻剂溶液(BOE)刻蚀；所述掺杂或非掺杂的氮化硅薄膜碎片之间的边界采用热磷酸溶液刻蚀；所述掺杂或非掺杂的碳化硅薄膜碎片之间的边界采用氢氟酸和硝酸混合液刻蚀；所述聚酯膜薄膜，聚丙烯膜薄膜或并五苯薄膜碎片之间的边界采用甲基吡咯烷酮(NMP)溶液刻蚀。7.根据权利要求6所述柔性导电线的制备方法，其特征在于，所述缓冲氧化蚀刻剂溶液(BOE)包括浓度为3wt％-8wt％的HF溶液和浓度18wt％-48wt％的NH4F溶液的混...

【专利技术属性】
技术研发人员：高胜，袁波，刘玉成，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32