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一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法技术
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文档序号:7495588
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一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法。本发明属于毫米尺寸微纳结构加工领域。该方法能够在较低成本下解决毫米尺寸、纳米精度微纳结构的加工问题。方法一:首先将待加工样品置于X-Y二维精密工作台上,通过AFM系统的逼近过程使AFM探...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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