一种多段式匹配器制造技术

本发明专利技术涉及半导体设备领域，具体为一种用于半导体设备中的多段式匹配器。该匹配器连接于射频电源和等离子体设备腔体之间，具体为一系列的固定电容串联，连在射频电源与等离子体设备腔体之间；依据等离子体设备腔体的不同工艺的不同阻抗，每个固定电容靠近射频电源一侧有选择的连接于射频电源。并选择一固定电感，固定电感的一端接地；根据不同的等离子体设备腔体，固定电感的另一端可以选择接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。本发明专利技术所有器件都是固定式的，整个匹配器是多段式的，并且最大限度的利用了每个器件，成本低，易于实现控制，主要解决的技术问题是在低成本、高可靠性、结构简单的条件下完成等离子体设备的阻抗匹配。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体设备领域，具体为一种用于半导体设备中的多段式匹配器。
技术介绍
在半导体行业中，等离子体设备得到了广泛应用。等离子体设备腔体一般有两种耦合方式，容性耦合(CCP)、感性耦合(ICP)；这两种方式都包括射频电源和匹配器。目前，半导体设备匹配器有自动匹配器，其成本高、结构复杂；还有可变电容式匹配器，在不同的工艺中用步进电机控制到某个点，此种匹配器的步进电机、驱动器、可变电容以及控制电路成本较高，比较复杂。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多段式匹配器，其主要解决的技术问题是在低成本、 高可靠性、结构简单的条件下完成等离子体设备的阻抗匹配。本专利技术的技术方案是一种多段式匹配器，一系列的固定电容串联，连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地， 固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。所述的多段式匹配器，一系列继电器分别联于射频电源与固定电容之间，固定电容和继电器分别为至少两个。所述的多段式匹配器，半导体设备通过继电器来控制多段式匹配器不同段的选择。所述的多段式匹配器，固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林英浩，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：