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本发明涉及半导体设备领域，具体为一种用于半导体设备中的多段式匹配器。该匹配器连接于射频电源和等离子体设备腔体之间，具体为一系列的固定电容串联，连在射频电源与等离子体设备腔体之间；依据等离子体设备腔体的不同工艺的不同阻抗，每个固定电容靠近射频...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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