改进的倾斜入射角沉积装置、使用它制造非反射性光学薄膜的方法以及非反射性光学薄膜制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种制造非反射性光学薄膜的方法。根据本发明专利技术，该方法包括：第一步，将玻璃基底安装在与腔室内形成的支撑杆连接的支撑板上；第二步，垂直移动支撑杆，使得玻璃基底可以与地面平行；第三步，使用沉积材料在玻璃基底上沉积第一折射层；第四步，移动支撑杆，使得沉积有第一折射层的玻璃基底可以具有一定的入射角度；第五步，利用用于增大孔隙度的过滤层，在玻璃基底上沉积折射率比第一折射层小的第二折射层，过滤层位于玻璃基底的下方区域并且增大朝向玻璃基底移动的沉积材料的孔隙度；第六步，从玻璃基底的下方区域移除用于增大孔隙度的过滤层，并且垂直移动支撑杆，使得沉积有第一折射层和第二折射层的玻璃基底可以与地面平行；和第七步，重复第三步至第五步一次，其中第一折射层和第二折射层可以由相同的沉积材料沉积形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种倾斜角沉积装置、使用该倾斜角沉积装置制造防反射光学膜的方法以及通过该方法制造的防反射光学膜。
技术介绍
诸如防反射膜等光学膜用在构成光学系统的诸如透镜、棱镜、反射镜等光学器件中。用于防止入射光从基底界面反射的防反射膜形成在基底的一侧上，并且起到增大施加到基底上的入射光量的功能。这种防反射膜可以通过将预定的沉积材料沉积在基底上的方法形成。在这种情况下，沉积方法的例子可以包括真空沉积、溅射、化学气相沉积(CVD)等。另一方面，光学膜需要在宽范围的入射角度内具有低反射率。为满足该要求，可以使用将具有不同折射率的折射层沉积在基底上的方法。在这种情况下，为了更有效地实现光学膜的防反射功能，可以使用利用折射率大不相同的材料在基底上以交替方式沉积折射层并增加折射层的交替数量的方法。然而，由于使用光学膜的光学器件逐渐变小，因此通过增加折射层的交替数量来改善光学膜的防反射功能受到限制。另外，当具有不同折射率的折射层数量增加时，存在沉积室中的污染变严重的问题。此外，由于难以降低通过物理气相沉积形成的常规光学膜的折射率，所以很难将这种常规光学膜应用到在宽频带内要求低反射率的技术中。专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：皇甫昌权，朴龙俊，
申请(专利权)人：仁荷大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：