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改进的倾斜入射角沉积装置、使用它制造非反射性光学薄膜的方法以及非反射性光学薄膜制造方法及图纸
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下载改进的倾斜入射角沉积装置、使用它制造非反射性光学薄膜的方法以及非反射性光学薄膜的技术资料
文档序号:7330178
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本发明公开一种制造非反射性光学薄膜的方法。根据本发明,该方法包括:第一步,将玻璃基底安装在与腔室内形成的支撑杆连接的支撑板上;第二步,垂直移动支撑杆,使得玻璃基底可以与地面平行;第三步,使用沉积材料在玻璃基底上沉积第一折射层;第四步,移动支...
该专利属于仁荷大学校产学协力团所有,仅供学习研究参考,未经过仁荷大学校产学协力团授权不得商用。
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