一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法技术

本发明专利技术涉及一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法，其特征在于利用真空倾斜沉积技术在基底上制备具有雕塑结构的二氧化钒薄膜，利用雕塑结构的多孔性和各向异性调控二氧化钒薄膜的光学性能和热色性能，然后通过后期热处理提高二氧化钒薄膜的结晶特性。该方法制备的薄膜可以广泛应用智能节能窗，温控开关，热敏电阻，光存储，红外防护等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于功能材料和薄膜
，涉及，具体涉及一种利用真空倾斜沉积技术在衬底上制备二氧化钒雕塑薄膜的方法。
技术介绍
二氧化钒是一种相变材料，它包含A相，B相，C相，R相，M相，其中M相和R相在68度时会发生从红外透明的半导体态(M相)到红外 不透明的金属态(R相)发生转变，伴随着光学，电学，磁学性能的突变。利用这些变化其可以广泛应用智能节能窗，温控开关，热敏电阻，光存储，红外防护等领域。因此，对于二氧化钒薄膜的研究具有十分重要的科学价值和现实意义。在能源供应日趋紧张的今天，二氧化钒薄膜在智能节能窗的应用更受到大家的青睐。然而，二氧化钒薄膜用于智能窗存在至少两个严重的缺陷(1)可见光透过率不高；(2)红外调节率不够理想，即热色性能不够理想。因此，尽管制备二氧化钒薄膜的方法很多，也有很多技术来弥补这两项不足，但是效果仍然不够理想。Xu等人(Appl.Surf.Sc1. 2005, 244:449-452)通过降低薄膜厚度来提高透过率，但是同时又降低了薄膜的热色特性。Granqvist 等人(Sol. Energy Mater. 1987，16:347-363)在二氧化钥;薄膜上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法，其特征在于步骤为：（1）利用真空倾斜沉积技术在基底上制备具有雕塑结构的二氧化钒薄膜，利用雕塑结构的多孔性和各向异性调控二氧化钒薄膜的光学性能和热色性能；（2）通过后期热处理提高二氧化钒薄膜的结晶特性。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖秀娣，徐刚，孙耀明，程浩亮，
申请(专利权)人：中国科学院广州能源研究所，
类型：发明
国别省市：