【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及人工制造金刚石薄膜领域,特指一种掺杂超细纳米结构金属粒子的金刚石薄膜制备方法与装置,尤其适用于制备大面积的金刚石薄膜。
技术介绍
金刚石薄膜有多方面的优良性能,如高的硬度和好的耐磨性,极好的化学稳定性和高热传导性,以及耐高温和抗辐射等性能而备受人们的关注,金刚石薄膜因其众多优异性能而在许多工业和新
有着重要的作用。现在人们已有多种方法制备金刚石薄膜,并已经初步应用在机、电、光、声等方面。1955年,美国通用电气公司的Bimdy等人用石墨作为碳源,用i^e、Ni、Co等过渡金属作为催化剂在1500K的高温和SGPa的高压条件下首次合成人工金刚石,这种方法也称高压熔媒法。1961年,人们在不采用催化剂的情况下,通过30GPa的超高压和1500K的高温条件下直接将石墨转化成金刚石。自从1974年,日本的ktaka、Matsumoto等人采用热灯丝、微波和直流放电等方法激发CH4等含碳气体,在金刚石籽晶和非金刚石的基底材料上进行金刚石膜的研究,制备出金刚石薄膜后,人们已开发出多种低压气相沉积法,均成功地制备出金刚石薄膜。低压气相合成金刚石技术可以分为 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:任旭东,阮亮,皇甫喁卓,张永康,杨慧敏,占秋波,周建忠,戴峰泽,孙桂芳,
申请(专利权)人:江苏大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。