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掺杂超细纳米结构金属粒子的金刚石薄膜制备方法与装置制造方法及图纸

技术编号:7260938 阅读:194 留言:0更新日期:2012-04-13 23:19
本发明专利技术涉及一种掺杂超细纳米结构金属粒子的金刚石薄膜制备方法与装置,制备掺杂金属粒子的金刚石薄膜装置由控制系统、靶材系统、工件控制系统和辅助系统组成。高功率脉冲激光装置发出的强激光聚焦到在真空条件下的高纯石墨靶材表面上,高能量的激光诱导出大量的等离子体高速轰击预先均匀加热的基材表面,在基材表面快速相变形成金刚石薄膜。准分子激光器发出的激光聚焦到金属靶材上,高能量密度的激光在金属靶材表面诱导出的由大量的金属粒子构成的等离子体高速轰击已制备的金刚石薄膜表面,大量的金属粒子有效地紧密填补金刚石薄膜颗粒表面的缝隙,形成了一层均匀的金属膜,实现金刚石薄膜表面的改性,提高了金刚石薄膜的抗压强度和耐磨性。?

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及人工制造金刚石薄膜领域,特指一种掺杂超细纳米结构金属粒子的金刚石薄膜制备方法与装置,尤其适用于制备大面积的金刚石薄膜。
技术介绍
金刚石薄膜有多方面的优良性能,如高的硬度和好的耐磨性,极好的化学稳定性和高热传导性,以及耐高温和抗辐射等性能而备受人们的关注,金刚石薄膜因其众多优异性能而在许多工业和新
有着重要的作用。现在人们已有多种方法制备金刚石薄膜,并已经初步应用在机、电、光、声等方面。1955年,美国通用电气公司的Bimdy等人用石墨作为碳源,用i^e、Ni、Co等过渡金属作为催化剂在1500K的高温和SGPa的高压条件下首次合成人工金刚石,这种方法也称高压熔媒法。1961年,人们在不采用催化剂的情况下,通过30GPa的超高压和1500K的高温条件下直接将石墨转化成金刚石。自从1974年,日本的ktaka、Matsumoto等人采用热灯丝、微波和直流放电等方法激发CH4等含碳气体,在金刚石籽晶和非金刚石的基底材料上进行金刚石膜的研究,制备出金刚石薄膜后,人们已开发出多种低压气相沉积法,均成功地制备出金刚石薄膜。低压气相合成金刚石技术可以分为下面三种类型第一是化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:任旭东阮亮皇甫喁卓张永康杨慧敏占秋波周建忠戴峰泽孙桂芳
申请(专利权)人:江苏大学
类型:发明
国别省市:

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