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本发明涉及一种掺杂超细纳米结构金属粒子的金刚石薄膜制备方法与装置，制备掺杂金属粒子的金刚石薄膜装置由控制系统、靶材系统、工件控制系统和辅助系统组成。高功率脉冲激光装置发出的强激光聚焦到在真空条件下的高纯石墨靶材表面上，高能量的激光诱导出大量...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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