【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种金刚石膜的制造方法，其特征在于，至少具有在单晶基板上化学气相沉积金刚石膜的工序、以及由所述单晶基板分离该金刚石膜的工序，所述单晶基板使用Ir单晶或Rh单晶，所述单晶基板在取出金刚石膜后能够重复使用，其中，由所述单晶基板分离该金刚石膜的工序是，通过将层积基板从高温的加热状态冷却至低温，利用在单晶基板和金刚石膜的界面产生的应力而分离金刚石膜；或者，使用在界面注入离子后，加热层积基板，而利用离子注入层进行分离的离子注入剥离法。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：野口仁，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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