The invention discloses a hard composite film, touch screen panel and a preparation method thereof, wherein the hard composite film deposited on the substrate surface, wherein the hard composite film consists of DLC films and the composition of the anti reduction film, the refractive index of the base rate is less than that of the diamond film rate, the substrate includes an inner surface and the outer surface relative to the outer surface of one side of the diamond film deposited on the substrate, the antireflective film deposited on the inner surface of the substrate and / or diamond-like carbon film and substrate. The invention solves the problem of the transmissivity of diamond-like carbon films deposited on a substrate whose refractive index is less than their refractive index.
【技术实现步骤摘要】
硬质复合膜、触摸屏面板及其制备方法
本专利技术涉及光学材料
,特别涉及一种硬质复合膜、触摸屏面板及其制备方法。
技术介绍
类金刚石(diamond-likecarbon,简称DLC)薄膜是一种非晶碳膜,它同时含有类似于金刚石的sp3杂化键与类似于石墨的sp2杂化键,国际上定义类金刚石薄膜为硬度超过金刚石硬度20%的绝缘硬质无定形碳膜。它具有类似金刚石的性质,包括高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、高耐磨性、高导热率与电阻率、化学惰性与生物相容性,因此将其沉积在玻璃表面能够有效增强玻璃的硬度、耐磨性、耐划伤性与耐腐蚀性,并且具有低的表面能,从而在一定程度上提高玻璃表面的疏水性。触摸屏面板的玻璃一般采用化学钢化工艺,即通过钠钾离子来提升自身强度,达到玻璃强化的目的,提升其耐冲击性、表面硬度等指标。为了提高触摸屏玻璃的轻便性,通常采用1mm以下的超薄钢化玻璃,如常用的0.7mm的钠钙玻璃。但是化学钢化的超薄玻璃由于表面压应力层非常浅,只有几十微米,其表面损伤对强度影响十分突出,当玻璃表面的轻微损伤超过几十微米,则化学钢化增强的效果将不复存在。因此化学增强的超薄触摸屏玻璃有必要在表面沉积一层硬质的类金刚石薄膜。硬度高质量好的类金刚石薄膜,所含有的氢含量较低(H<30at.%),因为氢元素对薄膜的硬度、耐磨性与耐划伤性有损害。但是氢元素有利于薄膜的可见光透过性能,因此含有较少氢元素的优质类金刚石薄膜,在可见光波段存在吸收。通常含有较低氢元素的类金刚石薄膜在550nm的折射率约为1.9~2.3,消光系数约为0.1~0.2。将其镀于触摸屏玻璃表面将影响屏幕观察效 ...
【技术保护点】
硬质复合膜,其特征在于,沉积于基体表面,其中硬质复合膜由类金刚石薄膜和减反膜组成,所述基体的折射率小于所述类金刚石薄膜的折射率,所述基体包括相对的内表面和外表面,所述类金刚石薄膜沉积于基体的外表面一侧,所述减反膜沉积于所述基体的内表面和/或类金刚石薄膜与基体之间。
【技术特征摘要】
1.硬质复合膜,其特征在于,沉积于基体表面,其中硬质复合膜由类金刚石薄膜和减反膜组成,所述基体的折射率小于所述类金刚石薄膜的折射率,所述基体包括相对的内表面和外表面,所述类金刚石薄膜沉积于基体的外表面一侧,所述减反膜沉积于所述基体的内表面和/或类金刚石薄膜与基体之间。2.根据权利要求1所述的硬质复合膜,其特征在于,所述减反膜的材质选自下述SiO2、MgF2和SiNx中的至少一种。3.根据权利要求2所述的硬质复合膜,其特征在于,SiO2减反膜的厚度为5-200nm,在550nm波长处的折射率为1.4-1.5,消光系数为0。SiO2减反膜的折射率优选为1.45。SiO2薄膜可以采用物理气相沉积与化学气相沉积方法制备,包括但不限于磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积、离子束沉积、蒸发镀膜法等。4.根据权利要求2所述的硬质复合膜,其特征在于,MgF2减反膜的厚度为5-200nm,在550nm波长处的折射率为1.3...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙瑶,黄星烨,汪洪,
申请(专利权)人:北京航玻新材料技术有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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