触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法技术

本申请公开了触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法。触摸屏面板包括基板、感测电极、连接线以及金属覆盖层，其中基板包括主动区和位于主动区外围的非主动区，感测电极设置在主动区中，连接线设置在非主动区中并电连接至感测电极，以及金属覆盖层设置在主动区和非主动区之间的接触区中，其中感测电极包括设置在基板上作为导体层的第一外敷层和设置在第一外敷层上的第二外敷层，并且连接线包括第一外敷层、第二外敷层、以及设置在第二外敷层上的金属线层。

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本申请要求于2015年4月20日提交的第10-2015-0055384号韩国专利申请的优先权和权益，为了所有目的，该韩国专利申请通过引用并入本文，如同其在本文中完全阐述。
示例性实施方式涉及触摸屏面板和用于制造触摸屏面板的方法。更具体地，示例性实施方式涉及具有高柔性和高可靠性的触摸屏面板以及用于制造触摸屏面板的方法。
技术介绍
触摸屏面板是输入设备，通过触摸屏面板，可利用用户的手或物体通过选择在显示设备等的屏幕上显示的指令内容而输入用户指令。触摸屏面板可替代连接至图像显示设备的单独的输入设备(诸如键盘或鼠标)，从而逐渐延伸了其应用领域。触摸屏面板可分成电阻膜型、光学感测型、电容型等。电容型可分成自电容型和互电容型。自电容型可实现悬停和多点触控功能。在自电容型触摸屏面板中，可在基板的一个表面上形成彼此间隔开的导电感测电极，并且每个导电感测电极可对应于具体的位置信息。因此，当用户的手或物体与触摸屏面板接触时，可以检测到感测电极的电容的变化，从而计算触摸位置。传统的自电容型触摸屏面板可包括电极线。每个电极线可布置在感测电极之间并连接至相应的感测电极。在触摸屏面板中，通过使用由金属纳米粒子(例如，银纳米线(AgNW))或导电的透明氧化物(例如，铟锡氧化物(ITO))构成的混合层，可形成感测电极，并且通过使用金属(诸如铜(Cu))，可形成金属线和桥。在感测电极、金属线和桥之上可形成钝化层。然而，由于钝
化层的焊盘部和扇出部处的高的透湿性，导致其中的铜金属线可能被腐蚀。此外，在高柔性设备中，铜可能不具有充足的柔性，使得在金属线中可产生裂缝并且可增大其电阻。高柔性材料(诸如铝(Al))可用来替代铜，但是在触摸屏面板的制造过程期间可发生工艺缺陷(诸如铝层的升起)。在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅用于增强对专利技术构思的背景的理解，并因此其可能包含不是形成在该国中已经为本领域普通技术人员所知的现有技术的信息。
技术实现思路
示例性实施方式提供了具有高柔性和高可靠性的触摸屏面板及制造触摸屏面板的方法。其他方面将在以下详细描述中阐述，并且部分将从公开内容中显而易见，或可以通过专利技术构思的实践而了解。示例性实施方式公开了触摸屏面板，该触摸屏面板包括：基板，包括主动区(active area)、位于主动区外围的非主动区(non-active area)、以及位于主动区和非主动区之间的接触区；感测电极，设置在主动区中；连接线，设置在非主动区和接触区中并电连接至感测电极；以及金属覆盖层，设置在接触区中，其中感测电极包括设置在基板上作为导体层的第一外敷层和设置在第一外敷层上的第二外敷层，并且连接线包括第一外敷层、第二外敷层、以及设置在第二外敷层上的金属线层，并且金属覆盖层通过接触区中用于暴露第一外敷层中的接触孔将金属线层耦接至第一外敷层。示例性实施方式还公开了用于制造触摸屏面板的方法，该方法包括：在基板上形成包括导电材料的第一外敷层，基板包括主动区、位于主动区外围的非主动区、以及位于主动区和非主动区之间的接触区；在第一外敷层上形成第二外敷层；通过图案化第一外敷层和第二外敷层，在主动区中形成感测电极并且在非主动区和接触区中形成连接线；在第二外敷层上形成金属线层，该金属线层与非主动区和接触区中的连接线对应；通过图案化第二外敷层，在接触区中形成接触孔以暴露第一外敷层；以
及在接触孔中形成金属覆盖层，其中金属覆盖层通过接触区中的接触孔将金属线层耦接至第一外敷层。在根据示例性实施方式的触摸屏面板中，覆盖层可在高温度和高湿度的环境下形成在金属线之上，从而提高可靠性。此外，第二外敷层形成在主动区的上部处以防止由导体形成的第一外敷层氧化，从而进一步提高可靠性。此外，导电的氧化层可以不形成在主动区中，这可以改善触摸屏面板的光学特性。前面的一般性描述和以下详细的描述是示例性和说明性的并且旨在提供对要求保护的主题的进一步说明。附图说明附图示出了专利技术构思的示例性实施方式，并且与描述一起用于解释专利技术构思的原理，其中附图被包括以提供对专利技术构思的进一步的理解并且包含于本说明书中且组成本说明书的一部分。图1为根据示例性实施方式的触摸屏面板的平面图。图2为沿图1的触摸屏面板的线I-I'截取的剖视图。图3A、图3B、图3C、图3D和图3E为示出图1的触摸屏面板的制造过程的过程视图。图4为根据示例性实施方式的触摸屏面板的平面图。图5为图4的触摸屏面板的局部放大平面图。图6为沿图5中的线II-II'截取的剖视图。图7A、图7B、图7C、图7D和图7E为示出图4的触摸屏面板的制造过程的过程视图。图8是示出根据示例性实施方式的触摸屏面板所应用到的显示设备的剖视图。具体实施方式在以下描述中，为了说明的目的，阐述了大量具体细节以提供对各示例性实施方式的全面理解。然而，显而易见的是，各示例性实施方式可以在不具有这些具体细节或具有一个或多个等同布置的情况下实践。
在其他情况下，以框图形式示出公知的结构和设备以避免不必要地模糊各示例性实施方式。在附图中，为了清楚和描述的目的，可以放大层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺寸。此外，相同的参考数字表示相同的元件。当元件或层被称为“位于”另一元件或层“上”、“连接至”另一元件或层或者“耦接至”另一元件或层时，该元件或层可以直接位于另一元件或层上、直接连接至另一元件或层或者直接耦接至另一元件或层，或者可存在介于中间的元件或层。然而，当元件或层被称为“直接位于”另一元件或层“上”、“直接连接至”另一元件或层、或者“直接耦接至”另一元件或层时，则不存在介于中间的元件或层。为了本公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个”和“从由X、Y和Z组成的组中选择的至少一个”可被理解为仅有X、仅有Y、仅有Z、或X、Y和Z中的两个或更多个的任意组合，诸如例如XYZ、XYY、YZ和ZZ。在全文中，相同的数字表示相同的元件。如本文中使用的，术语“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。虽然术语第一、第二等在本文中可用于描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但是这些元件、部件、区域、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语用于将一个元件、部件、区域、层和/或部分与另一元件、部件、区域、层和/或部分区分开。因此，在不背离本公开的教导的情况下，下面所讨论的第一元件、部件、区域、层和/或部分可被称为第二元件、部件、区域、层和/或部分。诸如，“在……之下(beneath)”、“在……下方(below)”、“下(lower)”、“在……上方(above)”、“上(upper)”等的空间相对术语可在本文中为了描述的目的而使用，并因此描述如附图中所示的一个元件或特征与另外的元件或特征的关系。除了附图中所描绘的方向以外，空间相对术语旨在包括装置在使用、操作和/或制造时的不同方向。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件或特征“下方”或“之下”的元件或特征随后将定向为在其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可以包括在……上方和在……下方两种方向。此外，设备可以以其它方式定向(例如，旋转90度或者处于其它方向)，并且同
样地，相应地解释本文中所使用的空间相对描述语。本文中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触摸屏面板，包括：基板，包括主动区、位于所述主动区外围的非主动区、以及位于所述主动区与所述非主动区之间的接触区；感测电极，设置在所述主动区中；连接线，设置在所述非主动区和所述接触区中并且电连接至所述感测电极；以及金属覆盖层，设置在所述接触区中，其中：所述感测电极包括：第一外敷层，设置在所述基板上作为导体层；以及第二外敷层，设置在所述第一外敷层上；所述连接线包括：所述第一外敷层；所述第二外敷层；以及金属线层，设置在所述第二外敷层上，以及所述金属覆盖层通过所述接触区中用于暴露所述第一外敷层中的接触孔将所述金属线层耦接至所述第一外敷层。

【技术特征摘要】
2015.04.20 KR 10-2015-00553841.一种触摸屏面板，包括：基板，包括主动区、位于所述主动区外围的非主动区、以及位于所述主动区与所述非主动区之间的接触区；感测电极，设置在所述主动区中；连接线，设置在所述非主动区和所述接触区中并且电连接至所述感测电极；以及金属覆盖层，设置在所述接触区中，其中：所述感测电极包括：第一外敷层，设置在所述基板上作为导体层；以及第二外敷层，设置在所述第一外敷层上；所述连接线包括：所述第一外敷层；所述第二外敷层；以及金属线层，设置在所述第二外敷层上，以及所述金属覆盖层通过所述接触区中用于暴露所述第一外敷层中的接触孔将所述金属线层耦接至所述第一外敷层。2.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述感测电极分别连接至所述连接线。3.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述感测电极包括：第一感测电极，设置在第一方向上；第二感测电极，设置在与所述第一方向相交的第二方向上；以及桥图案，电连接两个相邻的第一感测电极。4.如权利要求1所述的触摸屏面板，还包括设置在所述主动区中的所述第二外敷层和所述非主动区中的所述金属线层上的有机层。5.如权利要求2所述的触摸屏面板，其中，所述金属覆盖层还设置在对应于焊盘部的所述金属线层上。6.如权利要求3所述的触摸屏面板，其中，所述桥图案包括设置在所述第一外敷层上的所述金属覆盖层。7.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第一外敷层包括金属纳米线层。8.如权利要求1所述的触摸屏面板，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵先行，金载能，朴成均，崔祥圭，金暻鍱，曺基铉，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR