【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能光伏领域,具体涉及。
技术介绍
近年来,随着单晶硅产品在太阳能光伏领域内的占用比例不断提高,高纯度单晶硅的需求量日益增大,对用于制备纯单晶硅的石英玻璃坩埚自身的纯度要求也日益提高。传统真空电弧法制成的石英玻璃坩埚,由于快速降温导致透明层内会生成一定数量大小不等的气泡,使得坩埚内表面呈凹凸不平,增加了硅料与石英材料的接触面,加剧了硅材料与石英材料之间的化学反应,对生成的单晶硅产品造成污染,不利于制备高纯度的太阳能光伏用单晶硅产品,而且也会严重影响单晶硅生产的成品率。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种具有耐高温、抗软化能力强的电弧回转热熔法制造石英玻璃坩埚的方法。本专利技术采用的技术方案是本方法是在传统真空电弧法的基础上,增加采用回转模具,熔制出坩埚基体,并将制作好的埚坯在燃烧的氢氛围进行缓慢冷却,控制坩埚内部气泡等结构缺陷的产生,从而提高坩埚内壁的构造强度,进行达到阻隔硅材料和石英材料的化学反应,提高单晶硅产品纯度的目的。,包括以下步骤1)将高纯石英砂原料供给能够回转的模具,在模具的内表面形成坩埚粉体层;2)利用电弧 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:池金林,杨业林,
申请(专利权)人:扬州华尔光电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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