一种电弧回转热熔法制造石英玻璃坩埚的方法技术

技术编号:7241917 阅读:269 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了电弧回转热熔法制造石英玻璃坩埚的方法,在传统真空电弧法的基础上,增加采用回转模具,熔制出坩埚基体,并将制作好的埚坯在燃烧的氢氛围进行缓慢冷却,控制坩埚内部气泡等结构缺陷的产生,从而提高坩埚内壁的构造强度,进行达到阻隔硅材料和石英材料的化学反应,提高单晶硅产品纯度的目的。本发明专利技术方法是对刚刚制作好的石英玻璃坩埚在回转运动及高温状态下进行喷射氢气,实现快速均匀冷却的一种简便方法,特别适合于大口径石英玻璃坩埚的制造。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能光伏领域,具体涉及。
技术介绍
近年来,随着单晶硅产品在太阳能光伏领域内的占用比例不断提高,高纯度单晶硅的需求量日益增大,对用于制备纯单晶硅的石英玻璃坩埚自身的纯度要求也日益提高。传统真空电弧法制成的石英玻璃坩埚,由于快速降温导致透明层内会生成一定数量大小不等的气泡,使得坩埚内表面呈凹凸不平,增加了硅料与石英材料的接触面,加剧了硅材料与石英材料之间的化学反应,对生成的单晶硅产品造成污染,不利于制备高纯度的太阳能光伏用单晶硅产品,而且也会严重影响单晶硅生产的成品率。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种具有耐高温、抗软化能力强的电弧回转热熔法制造石英玻璃坩埚的方法。本专利技术采用的技术方案是本方法是在传统真空电弧法的基础上,增加采用回转模具,熔制出坩埚基体,并将制作好的埚坯在燃烧的氢氛围进行缓慢冷却,控制坩埚内部气泡等结构缺陷的产生,从而提高坩埚内壁的构造强度,进行达到阻隔硅材料和石英材料的化学反应,提高单晶硅产品纯度的目的。,包括以下步骤1)将高纯石英砂原料供给能够回转的模具,在模具的内表面形成坩埚粉体层;2)利用电弧进行加热熔制,使粉体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:池金林杨业林
申请(专利权)人:扬州华尔光电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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