下载一种电弧回转热熔法制造石英玻璃坩埚的方法的技术资料

文档序号:7241917

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本发明公开了电弧回转热熔法制造石英玻璃坩埚的方法,在传统真空电弧法的基础上,增加采用回转模具,熔制出坩埚基体,并将制作好的埚坯在燃烧的氢氛围进行缓慢冷却,控制坩埚内部气泡等结构缺陷的产生,从而提高坩埚内壁的构造强度,进行达到阻隔硅材料和石英...
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