【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能光伏领域,具体涉及一种石英坩埚清洗烘干专用设备。
技术介绍
石英坩埚是太阳能铸锭多晶生产的重要器件之一,其品质好坏将直接影响铸锭多晶炉的产能和收率,同时对铸锭多晶硅产品位错的形成及终端产品太阳能电池的转换效率等电性能有着重要影响,石英坩埚的清洗也是非常重要的。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种石英坩埚清洗烘干专用一体机。本专利技术采用的技术方案是一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,包括转盘、活动门、内喷头、外喷头、储酸槽、排酸管、进酸管、排水管、进水管和烘干设备,所述一体机上安装有活动门,一体机内设置有转盘,转盘的中心位置安装有内喷头,所述外喷头通过支架安装在转盘的上方,所述内喷头和外喷头通过排酸管和进酸管与储酸槽相通,内喷头和外喷头通过排水管和进水管与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。石英坩埚清洗工艺流程是将石英坩埚放入清洗机立式活动台;检查水、电、气路及供应是否正常;关闭活动门,启动按钮一进入酸洗程序一进入DIW洗程序一热风吹干一合格报警;人工用小车将石英坩埚取出包装。本专利技术石英坩埚清洗机主体由清洗 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:池金林,杨业林,
申请(专利权)人:扬州华尔光电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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