太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚制造技术

技术编号:6097452 阅读:284 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。本实用新型专利技术可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化的现象。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种太阳能硅生产用石英坩埚,具体地说是一种太阳能硅单晶生 产用涂层石英坩埚。
技术介绍
石英坩埚是太阳能硅单晶生产的生要元件之一,它不仅影响长晶的成品率,也会 影响单晶的电学性能。太阳能硅单晶生产是将块状的高纯度多晶硅置于石英坩埚,加热使 其熔化,并利用硅单晶制成的籽晶进行下种引晶,达到排除位错的目的,从而拉制出无位错 单晶。由于熔融的硅熔体与石英坩埚在高温环境下会发生化学反应,对石英坩埚内壁产生 侵蚀,不但降低了石英坩埚耐高温的能力,同时也影响了硅单晶的纯度。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术不足,提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英 坩埚。本技术采用的技术方案一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英 坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。本技术在太阳能硅单晶生产用的石英坩埚内壁涂厚度均勻的含有结晶水的 氢氧化钡层,氢氧化钡涂层与空气中的二氧化碳反应会生成碳酸钡。这种涂层石英坩埚在 单晶炉上被加热时,碳酸钡将被分解形成氧化钡,氧化钡又会与石英坩埚反应形成矽酸钡 (BaSiO3)。由于矽酸钡的存在,使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的白矽石结晶,这种微 小的白矽石结晶很难被溶液渗入而剥落,即使剥落也很快会被溶液溶解掉。有益效果;本技术可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长 晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少 高温软化的现象。附图说明附图为本技术结构示意图。具体实施方式下面结合具体实施方式对本技术作进一步说明如附图所示一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体1,所述 石英坩埚埚体1的内壁上设有一层碳酸钡涂层2。权利要求一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体(1),其特征在于所述石英坩埚埚体(1)的内壁上设有一层碳酸钡涂层(2)。专利摘要本技术公开了提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。本技术可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化的现象。文档编号C30B15/10GK201634794SQ201020138599公开日2010年11月17日 申请日期2010年3月23日 优先权日2010年3月23日专利技术者池金林 申请人:扬州华尔光电子材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体(1),其特征在于:所述石英坩埚埚体(1)的内壁上设有一层碳酸钡涂层(2)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:池金林
申请(专利权)人:扬州华尔光电子材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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