【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石英坩埚,尤其涉及一种异形石英坩埚。
技术介绍
随着科技的进步,市场对单晶硅的品质要求有着具体细化到对硅片的品质要求, 而坩埚的品质就会直接影响到单晶硅的品质。现有技术中,一般都是为圆底的石英坩埚,在 收尾时,液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余料较多,造成一定程度的浪费。于是,有人生产 出了四边形的坩埚,一定程度上解决了锅底余料的浪费,但是,这对模具的要求甚高,且单 面面积较大,收缩率也较大,对加热板的要求较高,不易控制。
技术实现思路
本技术的目的在于解决上述的技术问题,提供一种异形石英坩埚。本技术的目的通过以下技术方案来实现一种异形石英坩埚,包括锅壁和锅底,所述锅壁和锅底为一整体,锅底为平面形, 所述锅壁的横截面为正多边形。进一步地,以上所述的一种异形石英坩埚,所述锅壁的横截面为正六边形或正八 边形中的一种。本技术的有益效果主要体现在由于采用六边形的设计,相同的容量相对于 四边形单面面积变小,对石膏模具的收缩率要求降低,同时也由于单面面积的缩小,对坯体 含水率的要求也相对降低,且对加热板的收缩率要求降低,提高了热转换率。以下结合附图对本技术技术方案作进一步说明附图说明图1 本技术的正六边形坩埚的锅壁横截面示意图。图2 本技术的正八边形坩埚的锅壁横截面示意图。图3 本技术石英坩埚的结构图其中1、锅壁2、锅底具体实施方式本技术揭示了一种异形石英坩埚,包括锅壁1和锅底2,锅壁1和锅底2为一 整体,锅底2为平面形,锅壁1横截面为正多边形。如图1所示,异形石英坩埚的锅壁1横 截面为正六边形,如图2所示,锅壁1横截面也可为正八边形。由于坩埚中得到的单晶硅在使 ...
【技术保护点】
1.一种异形石英坩埚,包括锅壁(1)和锅底(2),所述锅壁(1)和锅底(2)为一整体,锅底(2)为平面形,其特征在于:所述锅壁(1)的横截面为正多边形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:唐修亮,丁荣勇,姜丹锋,
申请(专利权)人:维苏威太阳能坩埚苏州有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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