【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英坩埚,尤其涉及一种异形石英坩埚。
技术介绍
随着科技的进步,市场对单晶硅的品质要求有着具体细化到对硅片的品质要 求,而坩埚的品质就会直接影响到单晶硅的品质。现有技术中,一般都是为圆底的石英 坩埚,在收尾时,液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余料较多,造成一定程度的浪费。于 是,有人生产出了四边形的坩埚,一定程度上解决了锅底余料的浪费,但是,这对模具 的要求甚高,且单面面积较大,收缩率也较大,对加热板的要求较高,不易控制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述的技术问题,提供一种异形石英坩埚。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现一种异形石英坩埚,包括锅壁和锅底,所述锅壁和锅底为一整体,锅底为平面 形,所述锅壁的横截面为正多边形。进一步地,以上所述的一种异形石英坩埚,所述锅壁的横截面为正六边形或正 八边形中的一种。本专利技术的有益效果主要体现在由于采用六边形的设计,相同的容量相对于四 边形单面面积变小,对石膏模具的收缩率要求降低,同时也由于单面面积的缩小,对坯 体含水率的要求也相对降低,且对加热板的收缩率要求降低,提高了热转换率。附图说明下面结合附图对本专利技术技术方案作进一步说明图1 本专利技术的正六边形坩埚的锅壁横截面示意图。图2 本专利技术的正八边形坩埚的锅壁横截面示意图。图3 本专利技术石英坩埚的结构图其中1、锅壁 2、锅底具体实施例方式本专利技术揭示了一种异形石英坩埚,包括锅壁1和锅底2,锅壁1和锅底2为一整 体,锅底2为平面形,锅壁1横截面为正多边形。如图1所示,异形石英坩埚的锅壁1 横截面为正六边形,如图2所示,锅壁1横截 ...
【技术保护点】
一种异形石英坩埚,包括锅壁(1)和锅底(2),所述锅壁(1)和锅底(2)为一整体,锅底(2)为平面形,其特征在于:所述锅壁(1)的横截面为正多边形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:唐修亮,丁荣勇,姜丹锋,
申请(专利权)人:维苏威太阳能坩埚苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:32
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