【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种直拉硅单晶炉用石墨坩埚,适用于直拉硅单晶棒的制造,主 要应用于大直径硅单晶棒的生产,属于石墨坩埚
技术介绍
随着经济全球化进程的加速和工业经济的迅猛发展,世界范围内的能源短缺和环 境污染已成为制约人类社会可持续发展的两大重要因素。光伏发电因发电过程中无污染、 无噪音、维护简单、无需生产原料等优点而逐步显示出其发展空间和应用前景。太阳能电池 用的单晶硅的制作是这个产业中重要的一个环节。单晶硅的制作一般采用直拉法的生产工 艺,其制造过程主要分为以下几个阶段装多晶料、抽空、多晶硅熔化、颈及肩的生长、等直 径生长、尾部晶体的生长和晶体冷却,其中大部分过程是吸热过程,即需要外部供给热量。 单晶炉中一般有一个石墨制的主发热体,在其两端通上直流电,产生热量,发热体处在吸热 体的外面,热量是由外向内径向传导的。随着硅单晶直径的加大,单晶炉热场的尺寸变得越 来越大,相应地,石墨坩埚的重量也大大增加。目前,使用的坩埚由于结构简单,存在着传热 效率低、加热缓慢、加热时间长、能耗高等缺点。
技术实现思路
本技术的目的是为克服现有技术的不足提供一种传热效率高、加热迅速、加 热时间短、节约能耗的高效单晶炉用石墨坩埚。本技术采用的技术方案是由圆筒状的坩埚本体构成,坩埚本体由两瓣或三 瓣块体组成,坩埚本体外表面具有间隔均勻且高度相同的小凸台。本技术通过增加石墨坩埚外表面积来提高传热面积,可使石墨坩埚的外表面 积增加一倍,达到加大传热量、快速加热的目的。附图说明图1为本技术的俯视示意图。图2为图1中A-A半剖视图。图中1、两瓣或三瓣块体;2、接口 ;3、坩埚本体;4、 ...
【技术保护点】
一种单晶炉用石墨坩埚,由圆筒状的坩埚本体(3)构成,其特征是:坩埚本体(3)由两瓣或三瓣块体(1)组成,坩埚本体(3)外表面具有间隔均匀且高度相同的小凸台(4)。
【技术特征摘要】
一种单晶炉用石墨坩埚,由圆筒状的坩埚本体(3)构成,其特征是坩埚本体(3)由两瓣或三瓣块体(1)组成,坩埚本体(3)外表面具有间隔均匀且高度相同...
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