一种单晶炉埚转主轴制造技术

技术编号:3960274 阅读:163 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种单晶炉埚转主轴,该单晶炉埚转主轴的轴套通过上、下轴承套在主轴上,在上轴承与轴套的外壳之间设置还有密封保护装置。采用本实用新型专利技术,由于具有密封保护装置,杂质不会进入轴承,磨损小,能提高转主轴的使用寿命,且工作稳定。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉埚转主轴
技术介绍
目前,用于拉制单晶硅棒的单晶炉埚,由于其主轴及轴承没有保护装置,轴承易受 沾污,磨损很大,导致主轴松动,在拉晶时产生晃动,既影响生产,且主轴使用时间短。
技术实现思路
本技术的目的是提供能提高使用寿命的一种单晶炉埚转主轴。本技术采取的技术方案是一种单晶炉埚转主轴,轴套通过上、下轴承套在主 轴上,其特征在于在上轴承与轴套的外壳之间设置有密封保护装置。采用本技术,由于具有密封保护装置,杂质不会进入轴承,磨损小,能提高转 主轴的使用寿命,且工作稳定。附图说明图1是本技术的示意图具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图1,该单晶炉埚转主轴包括主轴1、上轴承3、轴套4、下轴承5,轴套4通过上 轴承3和下轴承5套在主轴1上,在上轴承3与轴套4的外壳之间设置有密封件2,该密封 件2也可用密封油代替。由于密封件2具有密封作用,杂质不会进入轴套4的内部,使上轴 承3、下轴承5与主轴1之间的磨损小,能提高转主轴的使用寿命,且工作稳定。权利要求一种单晶炉埚转主轴,轴套通过上、下轴承套在主轴上,其特征在于在上轴承与轴套的外壳之间设置有密封保护装置。专利摘要本技术涉及一种单晶炉埚转主轴,该单晶炉埚转主轴的轴套通过上、下轴承套在主轴上,在上轴承与轴套的外壳之间设置还有密封保护装置。采用本技术,由于具有密封保护装置,杂质不会进入轴承,磨损小,能提高转主轴的使用寿命,且工作稳定。文档编号C30B15/10GK201665728SQ201020138680公开日2010年12月8日 申请日期2010年3月23日 优先权日2010年3月23日专利技术者夏安阳, 郑裕财, 郜勇军 申请人:浙江矽盛电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉埚转主轴,轴套通过上、下轴承套在主轴上,其特征在于在上轴承与轴套的外壳之间设置有密封保护装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郜勇军郑裕财夏安阳
申请(专利权)人:浙江矽盛电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:33[中国|浙江]

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