The present invention provides a carbon fiber reinforced carbon composite crucible, the device is in producing a single crystal of semiconductor material or solar cell materials or polycrystalline for support, maintain storage solution materials and melting crucible carbon fiber reinforced carbon composite material used in the bottom of the crucible, bend fold or lap removal the poor, improved durability. Carbon fiber reinforced carbon composite material has a bend in the crucible 1 with the periphery of the bottom and the bottom 3 straight from the abdominal bending part extending to the top of 2, 3 and 2 at the bottom of the abdomen straight through applying the multi block alternating braided carbon fiber warp and weft of carbon fiber cloth 11, 12, 13 (10) and the formation of carbon fiber cloth at the same time, the axis is located above the bottom of the curved part of the warp and weft yarns in a circumferential direction relative to the tilt direction of the formation of the crucible.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，涉及例如在提拉 半导体材料等的单晶的装置或制造太阳电池材料等的多晶的装置中用于支撑、保持收纳溶 融材料的坩埚而使用的。
技术介绍
例如，在制造半导体材料等的单晶时，广泛采用CZ法(提拉法)。如图20所示，该CZ法是指使种晶P与收纳在石英坩埚50内的硅溶融液M的表面 接触，并使石英坩埚50旋转，同时一边使该种晶P反向旋转一边向上方提拉，从而在种晶P 的下端形成单晶C。随着单晶硅C的培育，该石英坩埚50因包围其四周的加热器52的热、硅溶融液M 的热而软化。因此，石英坩埚50被收纳在石墨坩埚51内而得到支撑。而且，若单晶硅提拉结束，则石英坩埚50和石墨坩埚51被冷却。此时，由于上述 石墨坩埚51的热膨胀系数较石英坩埚50的大，所以若在两者密合的状态下进行冷却，则存 在着石墨坩埚51中发生龟裂、最终发生龟裂、裂缝的课题。针对这样的课题，例如日本特开平11-60373号公报中公开了 使用由碳纤维补强 碳复合材料(也称作C/C材料)制成的坩埚(以下简称为碳坩埚)，以代替现有的石墨坩埚 51。由于该C/C材料的热膨胀系数接近于石英玻璃坩埚的热膨胀系数、而机械强...
【技术保护点】
１．碳纤维补强碳复合材料坩埚，其特征在于：该碳纤维补强碳复合材料坩埚具有在周边部具弯曲部的底部和从上述底部弯曲部延伸至上方的直腹部，上述底部和直腹部通过贴合多块交替编织碳纤维的经纱和纬纱得到的碳纤维织布而形成，同时，至少位于上述底部弯曲部的碳纤维织布的经纱和纬纱的轴线相对于坩埚圆周方向呈倾斜方向形成。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吉光大志，外谷荣一，大川雅行，森隆员，津岛荣树，
申请(专利权)人：科发伦材料株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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