【技术实现步骤摘要】
一种简易纳米级PSS衬底制备方法
本专利技术涉及一种LED衬底制作方法,尤其是一种简易纳米级PSS衬底制备方法。
技术介绍
发光二极管(LED)是一种电光转换、高效节能、绿色环保、寿命长等优点,在交通指示、户内外全色显示、液晶电视背光源等方面有着广泛的应用,尤其是用LED可以实现半导体固态照明,其有望成为新一代光源进入千家万户,引起人类照明史上的革命,其中蓝宝石衬底生长氮化镓外延的蓝光LED芯片上涂敷黄光荧光粉,蓝光激发荧光粉发出黄光,蓝光与黄光混合得到白光,从而用蓝光LED得到白光。氮化镓衬底材料常见有二种,即蓝宝石和碳化硅,碳化硅机械加工性能差,价格昂贵以及专利方面的问题使其应用得到限制,因此当前用于氮化镓外延生长的衬底主要是蓝宝石,氮化镓外延层与蓝宝石的晶格失配度相当大,残余内应力较大,所以在蓝宝石上生长氮化镓容易造成大量的缺陷,而这些缺陷大大降低发光器件发光效率;同时GaN与空气间存在较大的折射率的差异,光出射角度较小,很大部分被全反射回到LED芯片内部,降低了光的提取效率,增加散热难度,影响LED器件的可靠性。采用纳米级PPS衬底技术可大大降低氮化物材料的位错的密度,缓和外延生长时产生的残余内应力,提高内量子效率,光提取效率大大改善。目前实现纳米级PPS衬底技术主要采用:电子束光刻技术、纳米压印光刻技术、聚合物光刻技术;以上技术加工复杂、成本高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种纳米级PPS衬底制造方法,其制程简易、快速、低成本,光子提取效率高,提升产品良率。本专利技术的技术方案为:一种简易纳米级PSS衬底制备方法,制备步骤如下:a、蓝宝石 ...
【技术保护点】
1.一种简易纳米级PSS衬底制备方法,制备步骤如下: (a) 蓝宝石衬底上沉积一层SiO2膜; (b) 在SiO2膜上沉积一层 ITO或ZnO;(c) 将步骤b沉积一层 ITO或ZnO的衬底放入退火炉中,进行退火,SiO2膜表面上生成均匀的ITO或ZnO晶粒;(d)在c步退火作用后,再干法刻蚀掉未能被ITO或ZnO颗粒挡住的SiO2膜, 将均匀的纳米状的ITO或ZnO颗粒图形转移到SiO2膜层,形成纳米状的SiO2颗粒;(e)在d步骤后再放入高温的硫酸与磷酸混合溶液中腐蚀掉未被SiO2颗粒挡住的蓝宝衬底;(f)在e步骤后用HF酸去掉SiO2掩膜,形成纳米级PSS衬底。
【技术特征摘要】
1.一种简易纳米级PSS衬底制备方法,制备步骤如下:(a)蓝宝石衬底上沉积一层SiO2膜;(b)在SiO2膜上沉积一层ITO或ZnO;(c)将步骤b沉积一层ITO或ZnO的衬底放入退火炉中,进行退火,SiO2膜表面上生成均匀的ITO或ZnO晶粒;(d)在c步退火作用后,再干法刻蚀掉未能被ITO或ZnO颗粒挡住的SiO2膜,将均匀的纳米状的ITO或ZnO颗粒图形转移到SiO2膜层,形成纳米状的SiO2颗粒;(e)在d步骤后再放入硫酸与磷酸混合溶液中腐蚀掉未被SiO2颗粒挡住的蓝宝石衬底;(f)在e步骤后用HF酸去掉SiO2掩膜,形成纳米级PSS衬底。2.根据权利要求1所述的简易纳米级PSS衬底制备方法,其特征在于:(a)步骤蓝宝石衬底上用PECVD设备沉积一层SiO2膜,厚度2000~5000埃。3.根据权利要求1所述的简易纳米级PSS衬底制备方法,其特征在于:(b)步骤在SiO2膜上蒸发一层ITO或ZnO,厚度1000~3000埃。4.根据权利要求1所述的简易纳米级PSS衬底制备方法,其特征在于:(c)步骤...
【专利技术属性】
技术研发人员:周武,罗红波,张建宝,刘榕,
申请(专利权)人:华灿光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:83
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